起订量:
射频宽波束离子源
北京欧普特科技有限公司(Golden Way Scientific),注册于1998年,是一家以发展高科技光学类产品为主打、生产贸易相结合的民营公司。
我公司自成立至今,致力于光学仪器的销售以及光学元器件、机械件与光学镜头的设计、开发与加工生产。目前,我公司拥有、一个光学镀膜部、一个光学检测部以及一个光机装配室,位于北京朝阳区,对生产制造高精度大尺寸和中小尺寸球面、平面和柱面光学元器件进行配套的光学机械件系列、高精度光学镀膜以及光学镜头组装。基于长期为市场加工生产传统高精度的光学元器件与机械件的基础,我公司光学产品品质及检验严格参照通用标准。我们的客户覆盖了欧、美、亚的大量仪器制造商、库存销售商、光学产品专业分销商、科研机构以及OEM用户。针对光学元器件及机械件的销售,已经在北京设立了一个库存零售部。
我们的客户覆盖了欧、美、亚的大量仪器制造商、库存销售商、光学产品分销商、科研机构以及OEM用户。针对光学元器件及机械件的销售,已经在北京建立了两个销售部,并在北京设立了一个库存零售部。基于长期为市场加工生产传统高精度的光学元器件与机械件的基础,我公司光学产品品质及检验严格参照通用标准。
多年以来,我公司凭借着与国外多家公司良好的合作关系,代理了国外多家在光学领域企业的产品,如分析用近红外光谱仪、遥感用可见-近红外地物波谱仪、热红外光谱辐射计、地面/机载两用成像光谱仪、太阳辐射计、微型光纤光谱仪、太阳模拟器等。及时掌握科技动态,不断把*的产品介绍到中国来,以满足中国客户的需求。为在国内开展代理销售业务,我公司在北京设立了两个仪器销售部,并与德国Trioptics GmbH在北京成立了合资公司– 北京全欧光学检测仪器有限公司。公司员工当中包括了光学博士、硕士、以及光电工程师和销售工程师等其他相关人员。
RF/F 40 RF/I 40
图1 射频宽波束离子源
射频离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置,在高频电场中,自由电子与气体中的原子(或分子)碰撞,并使之电离。带电粒子倍增的结果,形成无极放电,产生大量等离子体,高频场可若管外螺线管线圈产生,则者称为电感耦合。
1. RF40使用简单、紧凑的电感功率耦合的无灯丝源,配备特殊电网绝缘调节系统,所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源,栅网系统有多种形状与材料。
2. RF40安装在仪器内部和外部均可,使用功能陶瓷,维护方便快捷,工作寿命长,射频电源通过50欧姆电缆提供,不需要额外的匹配单元。
图2 射频宽波束离子源尺寸布局
参数 | RF/F40 | RF/I40 |
类型 | 外部法兰安装射频激励离子源 多孔径提取栅网 | 内部安装射频激励离子源 多孔径提取栅网 |
源材料 | 放电管:Al2O3 栅网:C或Mo 射频线圈:镀银和水冷铜 永磁体:AlNiCo 外壳:不锈钢 射频匹配元件:Cu和Al2O3 | |
栅网类型 | 2栅网或3栅网系统 3种不同焦距的标准系统 | |
型号 | 参见上图(无中和器) | |
重量 | 约1.8kg | 约1.2kg |
法兰 | DN 100 CF | 3个DN 40 CF介质引线 |
RF电源 | ~75 to 300 W at 13.56 MHz | |
离子电流 | 最大50 mA(取决于栅网类型和运行条件) | |
离子能量 | 50 到 2000 eV | |
加速电压 | 0 –1000 V | |
过程气体 | 惰性气体,O2,N2,CXHY(无限制) 含卤素气体(减少栅寿命) | |
气流流量 | 1 -10 sccm 接头:6 mm Swagelock | 1 -10 sccm 接头:1/8“Swagelock(空气和真空) |
冷却水 | 1.5L/min | 1.5L/min |
电连接 | 射频:同轴N型 直流:BNC | 射频:同轴N型(空气和真空) DC:BNC(空气侧),电源接通 (真空侧)0.5米真空电缆 |