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单工位大口径快速退火炉
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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年，基地位于安徽合肥，是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发，建有超卓的产品研发中心，拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍，累计获得patent200余项。并通过产学研合作，与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造，产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类，与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系，市场营销网络遍布全球各地。
连年来，公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”，并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
详细信息
设备单工位大口径快速退火炉特点：
该款设备是由单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、进出气口及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度，伺服电机用于控制丝杆的转动速度达到精确控制炉管（样品）移除炉膛的速度，从而用于调节炉管（样品）的降温速度，与之相反可以得到较快的升温速率；出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温，以此获得较高的降温速率。
单工位大口径快速退火炉结构与原理：
设备组成：单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、流量控制系统及工控电脑操作系统。
1、单端封口小型红外滑轨炉：
该加热系统采用先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体炉管可实现自动分离，炉体上下两半设计，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度自由打开，安全可靠。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，除能够保持其能量的低损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。
该滑轨炉加热系统由红外灯管加热，采用内插热电偶控温的方式实时显示石英腔体内部温度，加热区长度为370mm，恒温区长度200mm，确保两个φ100*100mm的夹具可放置在恒温区内，为让样品在炉管内的中心位置，考虑石英置物架的高度，石英管管径综合考虑在210mm，恒温区200mm内的温场均匀性控制在±5℃，升温速率≤30℃/s, 整个石英腔体直接划出炉膛，样品降温过程可在通入一定量保护气体的条件下快速降温，平均降温速率可达到2℃/s， 试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成工艺的同时大大降低了间接污染试样的可能性。采用石英管堵维持炉内的温场均匀性及石英舱体内的洁净度。
2、电机调速装置：
伺服电机调速装置用于控制丝杆的转动速度，达到控制炉管部分的整体移动速度（含样件），以此调整快速升降温的目标速率，电机旋转速度实时显示并且精确可控，以获得精确的移动速度，满足降温时工艺参数要求。
3、主要参数
加热系统 | |
供电电源 | 220V，50Hz |
额定功率 | 10KW |
石英管尺寸 | Φ210*370mm（炉管直径可根据实际需要定制。） |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
加热原件 | 电阻丝 |
控温精度 | ±5℃ |
热电偶类型 | K型热电偶（内插） |
控制方式 | 该系统人机界面+PLC控制，10寸液晶屏显，显示器可直接显示真空度、气体流量、热电偶温度、电机旋转速度等信息。 |
气路系统 | |
标准量程（N2) | 1000sccm（可根据用户要求定制） |
准确度 | ±1.5% |
线性 | ±0.5～1.5% |
重复精度 | ±0.2% |
响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
最大压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
真空系统 | |
机械泵 | 抽气速率：4L/S 容油量：1.1L 电机功率：400W~ 极限压强：6×10-2Pa |
分子泵 | 抽气速率：100L/S 极限压强：1×10-4Pa 启动时间：＜2min 额定转速：4300转/分 冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时看，水冷。 |
分子泵控制器 | 电压：220V±22V 启动电流：≤7A 输入频率：47HZ—63HZ 最大输出功率：≤150W 最大加速电压：≤40V 加速时间：≤3min 频率（双速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ |
复合真空计 | 测量路数：2路（电阻规、电离规各1路） 工作模式：手动/自动 电阻单元参数 规管型号：ZJ-52T电阻规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单元参数 规管型号：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方式：焦耳去气 其他参数 控制路数：4路 控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆 控制精度：±1% 采样时间：1S 电源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用环境温度：0℃~45℃ 湿度：≤85% |
连接管路 | 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s |
