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等离子溅射仪
安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年，基地位于安徽合肥，是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。
公司重视技术攻关和产品研发，建有超卓的产品研发中心，拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍，累计获得patent200余项。并通过产学研合作，与北京大学南开大学等多所院校建立联合实验室及研究生联合培养基地
公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造，产品门类涵盖了OLED材料提纯专用设备系列、碳材料制备设备系列、半导体专用设备系列及金属纳米颗粒设备系列四大类共十余个子类，与众多材料厂商、科研院校等保持长期合作关系，市场营销网络遍布全球各地。
连年来，公司相继被认定为“高新技术企业”“专精特新企业““科技小巨人培育企业”“石墨烯生长设备工程技术研究中心”“瞪羚企业”“雏鹰企业”，并接连获得“中国隐形独角兽500强”“科技创新奖”“创新创业奖”等多项荣誉。
详细信息
| 输入电源 | AC220V、50/60HZ |
| 最高输出功率 | 100W（300W可以选配） |
| 频率 | 13.56MHZ |
| 同调方式 | 手动2轴同调方式（可以选配自动） |
| 靶材 | 大小2英寸厚度最大5mm |
| 靶头到基片距离 | 30mm-100mm |
| 平台转速 | 5r/min |
| 反应腔室 | Φ195*238不锈钢腔室 |
| 填充气体 | 氩气或氮气 |
| 进气口接头 | Φ6卡套接头 |
| 观察窗尺寸 | Φ148 |
| 外形尺寸 | 560*550*600 |
可根据客户要求选配(金银铜等或氧化物靶材)、泵和冷水机3000型。
安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年，隶属百思集团，其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥莱德装备技术有限公司、天津百诺金科技有限公司、合肥欧莱迪光电技术有限公司、安徽贝意克智能科技有限公司。贝意克公司于2020年在合肥投资5亿元新建5万平米贝意克智能装备产业园。设有贝意克工程设计中心，贝意克工程技术中心，贝意克联合实验室等研发公共服务平台。
贝意克主要从事实验室仪器设备的研发生产，主营各类型箱式炉、管式炉、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控溅射、真空镀膜、薄膜制备、纳米材料制备装备、各种高精度真空箱以及各类非标定制，产品领域涉及科研、光电产业化、半导体、军工等高科技产业。
公司致力于提供专业的设备、技术和服务，助力全球新材料研发。
