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MF100C INHA气体质量流量控制器(紧凑型)
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生产厂家本公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及售后等相关的服务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域,为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。我公司生产的气体质量流量控制器所使用的技术全由我们技术,具有自主知识产权,产品的每一个部件都有我们自己设计制作,且已取得了多项技术申请 ,气体质量流量控制器每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户,让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变,为现有的产品技术升级提供基础服务。 致力于为客户开发“生产工艺*化和成本化”的解决方案及相关产品。并且能在最短的时间内提供优质的售后服务。
紧凑型流量控制器MF-100C | ||||
»三维尺寸图 | ||||
riTfmn | ||||
Mass Flow Controller | ||||
and Meter | ||||
MF 100Series | ||||
»特征 | ||||
-响应速里快 | ||||
-准确度咼 | ||||
-稳定的流量控制 | ||||
-宽压力范围 | ||||
-优良的耐腐蚀性 | ||||
-出色的线性度 | ||||
QI | ||||
—( | ||||
t | ||||
— | ||||
60 | ||||
• Sccm,Slm表示标准气体流量(20°C 101.3Kpa) | ||||
»戸品规格 | ||||
INHA-气体质量流量控制器-模拟经济型 | ||||
型号 | MF-100C | |||
流量规格(N2 ) | 10SCCM-30SLM | |||
控制量程 | 2%~100%of FullScale | |||
准确度 | <±1.0% of Full Scale (20,30SLM : <±1.5 Full Scale ) | |||
线性精度 | <±0.5% of Full Scale | |||
重复精度 | <±0.2% of Full Scale | |||
响应时间 | <2sec | |||
正常工作温度范围 | 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) | |||
正常工作压力范围 | 0~50 Bar(g) | |||
漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He | |||
电源 | + 15Vdc or 24Vdc/300mA | |||
信号类型 | 0-5V or4-20mA | |||
密封类型 | Viton/Buna/Kalrez/Teflon/Epdm | |||
控制类型 | Normally Closed Solenoid | |||
连接器类型 | D-Sub 9 Pin Connector Male | |||
气路接口类型 | 1/4,1/8" , 3/8"LOK 1/4VCR | |||
接口类型 | Analog Type | |||
材质 | SUS 316L | |||
预热时间 | 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min) | |||
»电气连接 | ||||
单位:mm | ||||
"X"尺寸规格 | ||||
接口规格 | mm | |||
1/8HLok | 116.7 | |||
1/4HLok | 121.3 | |||
3/8"Lok | ||||
124.4 | ||||
1/4"VCR | ||||
117.8 | ||||
Mass Flow Controller | ||||
and Meter | ||||
MF 1OOSer ies | ||||
FLOW | ||||
气体质量流量控制器 MF-100C(电压型) | 气体质量流量控制器 MF-100C(电流型) | |||
D型9针连接器 | (公) | |||
电气连接方式 | 电压型 | 电流型 | ||
编号 | 功能 | MF-100C | MF-100C | |
1 | 信号公共端 | • | • | |
2 | 0~5Vdc信号输出 | • | X | |
3 | 阀控 | options | options | |
4 | 4~20mA信号输出 | X | • | |
5 | 电源 | • | • | |
6 | 地 | options | options | |
7 | 4~20mA信号输入 | X | • | |
8 | 0~5Vdc信号输入 | • | X | |
9 | ||||
电源公共端 | ||||
INHA® | ||||
INHA® | ||||
MASS FLOW Meter | ||||
MASS FLOW Meter | ||||
I | ||||
z | ||||
Mass Flow Controller | ||||
and Meter | ||||
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