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5850EM系列 金属密封热式流量控制器
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生产厂家本公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及售后等相关的服务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域,为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。我公司生产的气体质量流量控制器所使用的技术全由我们技术,具有自主知识产权,产品的每一个部件都有我们自己设计制作,且已取得了多项技术申请 ,气体质量流量控制器每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户,让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变,为现有的产品技术升级提供基础服务。 致力于为客户开发“生产工艺*化和成本化”的解决方案及相关产品。并且能在最短的时间内提供优质的售后服务。
金属密封热式流量控制器 半导体流量控制器特点:
●长明零点稳定性,每年变动小于满量程的0.2%
●能够根据命令变化在 3秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计
●流量范围究 -3 sccm至高达30,000 slpm
●高压额定值-高达1,500 psi
●可选增强型内部后处理工艺-5u 英寸Ra (平均值)
●可拆卸式流量传感器
●不受安装角度影响
●其他质量流量控制器在机城和电设计方面兼容
●TTL兼容型阀关团和吹扫功能
金属密封热式流量控制器 半导体流量控制器优势:
●全金属流路可确保件纯度并降低范流风险;
●在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性;
●由于性能可靠, 因此投资回报率出众;
●采用可拆卸式流量传感器,因此无雾对气压进行连续监测和重新调节;
●由于慢拟量仅为输入输出,因此易于安装和保养。
产品应用:
●光端机
●LED/MOCVD
●半与体
●太阳能