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PCE-80 加热型紫外臭氧清洗机
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代理商上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!
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清洗
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加热型紫外臭氧清洗机
| PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。 | ||
应用 | ● 去除分子级别的污染物 | |||
主要参数 ● 功率:最大350W ● AC 208~240V,单相 50/60Hz
紫外灯 ● 可发出双波长的水银灯 ● 功率:55W ● 发出光的波长:254 nm 和 185 nm ● 使用寿命:2500 小时(可更换) ● 照射区域:200 x 200 mm
排气口 ● 直径为80mm的排气口安装在仪器后端 ● 请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外 ● 仪器中不包含橡胶管
外形尺寸: 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) 净重:28kg | 腔体&样品台 ● 不锈钢壳体 ● 抽屉式样品台,以便放样取样 ● 样品台面积310 mm x 320 mm ● 臭氧通风装置安装在腔体上 ● 样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调) ● 样品台可以加热,最高温度可达150℃ ● 可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃ ● 设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时
环境要求 ● 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内; ● 温度范围:41-104华氏度; ● 最大相对湿度80%,最高87华氏度,104华氏度线性降至50%相对湿度; ● 主电源波动不超过额定电压的10%; ● 污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb。 保修期 :一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |