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PCE-22 紫外臭氧清洗机
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PCE-22紫外臭氧清洗机是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。1、仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;
2、温度范围:5-40℃;
3、最大相对湿度80%,最高30.5℃,40℃线性降至50%相对湿度;
4、主电源波动不超过额定电压的10%;
5、污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb。
6、去除分子级别的污染物
7、紫外光固化粘合剂
8、紫外光催化
9、氧化PDMS
10、表面消毒
11、刻蚀
12、清洗MEMS 器件
13、清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片
产品名称 | PCE-22紫外臭氧清洗机 | |
产品型号 | PCE-22 | |
主要参数 | 1、功率:最大350W 2、AC 208~240V,单相 50/60Hz | |
腔体&样品台 1、不锈钢壳体 2、抽屉式样品台,以便放样取样 3、样品台面积310 mm x 320 mm 4、臭氧通风装置安装在腔体上 5、样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调) 6、样品台可以加热,最高温度可达150℃ 7、可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃ 8、设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时 | ||
排气口 1、直径为80mm的排气口安装在仪器后端 2、请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外 3、仪器中不包含橡胶管 | ||
紫外灯 1、可发出双波长的水银灯 2、功率:55W 3、发出光的波长:254 nm 和 185 nm 4、使用寿命:2500 小时(可更换) 5、照射区域:200 x 200 mm 6、可以清洁直径最大为12英寸x 35毫米的晶体晶片。 | ||
产品规格 | 1、尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) 2、重量:28kg |