SMC thermo-con Chiller温控器HEC006-W2B

     SMC Chiller冷水机适用于多道半导体制造工序（蚀刻装置，选择装置，清洗装置，涂胶装置，切割装置，试验机），   电子显微镜等。
    上海九展自动化技术有限公司提供半导体制程的CVD，PVD， ETCH，Metrology,Thinfilm, CMP ，BG,刻蚀,离子注入ION IMPLANT,清洗,光刻等工序设备的冷水机的销售，维修，和备件。以及二手Chilller销售。
       我们是一家拥有多年经验的公司，在高科技应用领域为CHILLER和热交换器提供服务。我们的专业技术人员竭尽所能延长您的系统寿命和所连接设备的正常运行时间。
    有的机型我们提供备用机和众多的备件。
    我们的团队利用与世界各地的半导体设备生产商,贸易商，设备回收商,半导体代工厂，研究所和大学之间的众多的网络关系，以有效地了解设备与销售的需求以及资产所在的位置。
    我们提供冷水机CHILLLER维修和销售的品牌包括Neslab、SMC、DISCO、TEL 、Edwards、Lam、AMAT、         ThermoFisher、Daikin和产品。
       我们在上海设有服务中心。
      我们可以提供对冷水机的免费诊断，或合理费用的现场诊断。
      如有任何问题，请随时联系我们。

HEC系列用于高精度温控。采用珀耳帖元件的无氟高精度温控器。
构造简单、可靠性高。
体积小、低振动，便于组装到装置内部。
适合多种电源电压。
符合UL规格、CE标识。

系列  设定温度范围      冷却能力         温度稳定性              冷却方式      循环液
HEC： 10～60℃， 230W、600W， ±0.01～0.03℃， 珀耳帖式风冷， 清水
HEC： 10～60℃， 140W、320W， ±0.01～0.03℃， 珀耳帖式水冷， 清水、乙二醇水溶液（20％）
HEC： 10～60℃， 600W、1200W， ±0.01～0.03℃， 珀耳帖式水冷， 清水、氟化液

SMC thermo-con Chiller温控器HEC006-W2B
HEC002-A5A
HEC002-A5B
HEC006-A5A
HEC006-A5B
HEC001-W5A
HEC001-W5B
HEC003-W5A
HEC003-W5B

SMC thermo-con Chiller温控器HEC006-W2B