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日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉
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主营产品:
实验室仪器:博勒飞粘度计,宾德烘箱,binder培养箱,罗威邦色度仪,
无损检测仪器:EPK涂层测厚仪、易高涂层测厚仪、达高特超声波测厚仪、蒙那多频闪仪
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日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉产品特点:
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
最高工作温度500℃。
采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。
磁密封保持高气密性,采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉技术参数:
型号 | DTN450C | DTN650C |
外形尺寸(宽× 深× 高mm) | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 |
内尺寸(宽× 深× 高mm) | 450×450×450 | 660×500×660 |
内部容积 | 91L | 216L |
温度范围 | 室温+50 ~ 500℃ | |
温度调节精度 | ±1.0℃(at500℃) | |
温度分布精度 | ±8.0℃(at500℃) | |
最高温度到达时间 | 约110 分 | |
氧浓度 | 20ppm 以下 | |
氧浓度到达时间 | ≤ 20 分(250L/min 氮气) | ≤ 25 分(250L/min 氮气) |
洁净度 | 温度恒定时100 级 | |
加热方式 | 不锈钢加热管 | |
冷却机构 | 不锈钢冷却水换热器 | |
HEPA 过滤器 | 集尘效率:0.3um 粒子99.97% 以上 | |
排气口 | 40KF 法兰 | |
氮气入口 | Rc1/2 | |
冷却水入口 | Rc3/4 | |
热水出口 | Rc3/4,2 个 | |
电源(50/60Hz)额定电流 | 3 相AC380V 20A | 3 相AC380V 27A |
安全性:
门检测开关
温度过升防止器
氧浓度异常安全装置
氮气压力检测
氮气流量检测
冷却水流量检测
漏水传感器
过电流漏电漏电保护开关