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YH-J100-ES-02 精密半导体洁净车间用无尘洁净烘箱
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生产厂家深圳市怡和兴机电科技有限公司于2000年成立于深圳,是一家专业从事高温烘烤设备与自动化智能化烘烤设备的研发、生产与销售于一体的科技型公司。公司长期致力于为客户提供烘烤、干燥、自动化、智能化解决方案,目前已取得16项证书,已成为多家大规模企业及研究所专业设备供应商。
针对半导体行业,怡和兴拥有近20年的技术积累和经验传承,主要产品包含厌氧烤箱、洁净烤箱、光刻烤箱、无氧化烘箱、无尘烘箱、晶圆退火烘箱等,为国内半导体生产线自动化设备提供行业内完善的整合方案。
同时针对新能源和新材料行业,怡和兴具备强大定制化服务能力。公司根据客户的实际使用需求,定制用于干燥、老化或评价性试验用途的烤箱。包括各类精密箱式烘烤设备、非标定制隧道式烘烤设备、自动化烘烤设备、真空烘烤设备、洁净烘烤设备、防爆等烘烤设备,防潮工程及防潮储存设备等。产品紧跟工业4.0与智能智造趋势,开发设备集成管理系统,物联网解决方案等满足客户对高精度,设备监控及数据采集等功能需求,为客户提高生产效率并建立可靠的评估体系。
怡和兴公司坚持不断“创新”,为客户提供 “稳定”可靠的设备产品,以为客户提高“时效”为我们的追求。公司自成立以来,已经获得“国家技术企业”“广东省优秀自主品牌”“中国科技创新重点推广品牌”“中国名优产品”“2010上海世博会民营企业联合馆荣誉证书”等荣誉,公司的产品也通过了CE,FCC,设备安全性认证等。
1. 适用区域
洁净烘箱适合于洁净车间内使用,适用于高精密半导体中烘干,胶水固化,精密光学元件清洗后烘干等热处理。
2. 设备特点:
1) SUS304 1.5mm不锈钢板,全满焊工艺;
2) 箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式,可以使箱内保证微正压,以保证污染物不能进入内箱;
3) 高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室,可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求,可以满足洁净级别ISO Class 5(国标100级),ISO Class 6(国标1000级),ISO Class 7(国标10000级)等各种等级的需求;
4) 配置自动充氮气装置,与自动开关风门进行充氮烘烤;
5) 全新开发触摸屏操作系统,带高精度PID主控仪,控温精度为±0.1℃,自动恒温。可以保存配方,查看温度曲线,导出升温数据等;
6) 根据使用要求,可以接受定制。
3. 规格明细表
型号 | YH-J100-ES-02 | 工作稳定范围 | 常温—150℃ |
使用电压 | 三相五线380V,50Hz | 控温精度 | ±0.1℃ |
加热功率 | 6KW | 温度均匀性 | ±3%℃ |
温度稳定度 | ±2℃ | ||
尺寸 | |||
工作尺寸 | H910mm*W620mm*D620mm |