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NX2000 日立FIB-SEM三束系统

型号
NX2000
参数
产地类别:进口 应用领域:医疗卫生,环保,生物产业,农业,能源
北京宣毅科技有限公司

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主营燃料电池测试系统,旋转环盘电极、氢标准电极,气体扩散电极,高电阻电压计、零欧电流计、电解池、法拉第屏蔽箱等与电化学相关的设备及配件, 并且为客户提供完整的电化学解决方案,针对特殊应用提供量身定制的非标设备!

北京宣毅科技有限公司是专业从事国内、外电子测试仪器仪表、燃料电池解决方案销售公司。近年来公司秉承诚信,可靠,专业,服务”的经营理念,经过长期坚持不懈的努力,赢得了同行和客户的认同与支持,在仪器应用的多元化、专业化方面得到了长足发展,业务涵盖电子测试仪器仪表行业。公司代理销售主要品牌有:中国台湾固纬、泰克、fluke、吉时利、是德、浙江大立、飞础科、日置等。公司在全国各地拥有许多高度的厂商支持及长期合作伙伴,凭借着雄厚的技术优势、高品质的产品、完善的售后服务,赢得了各界的良好口碑,先后为各大院校、科研所、通信、电力、电子、铁路等大型企业提供优质的产品并获得了*好评。在稳固占领国内市场同时,也在为接轨市场而努力。总公司确立精品意识,保持科技*,不断推出更新、更好、更优的产品。本公司资源充足,长期拥有名、优、特产品向各界提供,让客户更好的选择产品、更合理的运用资金。销售的产品技术指标达到国家与生产厂标,今后我们将一如既往、再接再励、稳步前进、开拓创新,随时为电子厂家与广大客户发展作出应有的贡献。公司主要经营:电子测量仪器、电工仪表、无损检测仪器、电源、安规测试、机械测量仪表、电子工具、防雷产品、焊接设备及辅料、手动工具等。

主营燃料电池测试系统,旋转环盘电极、氢标准电极,气体扩散电极,高电阻电压计、零欧电流计、电解池、法拉第屏蔽箱等与电化学相关的设备及配件, 并且为客户提供完整的电化学解决方案,针对特殊应用提供量身定制的非标设备!










详细信息

日立FIB-SEM三束系统追求的TEM样品制备工具

设备及高性能纳米材料的评价和分析领域,FIB-SEM已成为*的工具。
近来,目标观察物更趋微细化;更薄,更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。
日立高新公司,整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术,再加上加工方向控制技术以及Triple Beam®*1(选配)技术,推出了新一代产品NX2000


运用高对比度,实时SEM观察和加工终点检测功能,可制备厚度小于20 nm的超薄样品





FIB加工时的实时SEM观察*2
样品:NAND闪存
加速电压:1 kV
FOV:0.6 µm

加工方向控制技术(Micro-sampling®*3系统(选配)+高精度/高速样品台)对于抑制窗帘效应的产生,以及制作厚度均一的薄膜类样品给予厚望。


加工方向控制


常规加工时

Triple Beam®*1(选配)可提高加工效率,并能使消除FIB损伤自动化

EB:Electron Beam(电子束)
FIB:Focused Ion Beam(聚焦离子束)
Ar:Ar ion beam(Ar离子束)


项目内容
FIB镜筒
分辨率4 nm @ 30 kV、60 nm @ 2 kV
加速电压0.5~30 kV
束流0.05 pA ~ 100 nA
FE-SEM镜筒
分辨率2.8 nm @ 5 kV、3.5 nm @ 1 kV
加速电压0.5~30 kV
电子枪冷场场发射型
探测器
標準検出器In-lens 二次电子探测器/样品室二次电子探测器/背散射电子探测器
样品台X:0 ~ 205 mm
Y:0 ~ 205 mm
Z:0 ~ 10 mm
R:0 ~ 360°连续
T:-5 ~ 60°


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产品参数

产地类别 进口
应用领域 医疗卫生,环保,生物产业,农业,能源
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