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MI4050 日立单束聚焦离子束系统
北京辰复科技成立于2003年,公司从事检测设备自主研发和生产,以及进口测量设备的代理和销售工作,并提供完整的售后服务和技术培训。辰复科技专注于应用研究和现场服务,公司各技术团队拥有专业的技术能力和丰富的实际应用经验,产品功能既便于操作者的使用,充分解决现场实际需求,又严格符合行业标准,遵从智能化和集成化的产业趋势。辰复科技视产品售后服务工作是公司的重中之重,勤于奔波和勇于担当,维护及保养好每套所售产品,已成为公司的传统和美誉。辰复科技建立了专注和清澈的工作氛围,包括规范的劳资关系,单纯的人际交往,以及勤奋、严谨和富有责任心的集体工作态度。公司重视人员和业务的专业标准和职业精神,并在人员聘用到业务规范中予以落实。公司团队的成员都需经历全面的包括行为准则和专业能力在内的入职培训,也需经历之后定期和不定期的业务深入培训,所有培训目的在于传承公司职业精神,提高个人和团队的专业水平,为每个公司成员的个人职业发展积蓄潜力。
日立单束聚焦离子束系统介绍:
探针电流可达90nA,实现快速加工和大面积加工
采用高精度5轴电动机械优中心马达台
可在样品台移动(包括倾斜)时自动对多个部位进行多种加工
*的操作性能和多种多样的加工模式
截面制备程序加工
TEM/STEM样品程序加工
自动连续加工
TEM样品自动连续精加工软件
位图加工
Vector Scan加工
制备纳米精度三维结构样品
使用多路气体系统(MGS-II)修复电路
该系统可对应保护膜材料、配线材料、绝缘膜、加速蚀刻等多种用途,照射多种气体
钨沉积气体
铂沉积气体
绝缘膜制备用沉积气体
氟化氙蚀刻气体
有机类蚀刻气体
碳沉积气体
丰富多样的坐标链接功能
日立高新技术公司的坐标链接功能丰富多样,可确定正确的加工位置和大幅缩短时间
光镜图像与SIM像的链接
日立单束聚焦离子束系统双光标功能
与缺陷检测设备建立坐标链接
已截断的晶元或芯片也可与缺陷检测设备建立坐标链接
CAD联用导航软件