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BD/HMDS-6090 HMDS预处理高温烘箱

型号
BD/HMDS-6090
参数
产地类别:国产 价格区间:10万-15万 仪器种类:真空烘箱 应用领域:医疗卫生,生物产业

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      北京中科博达仪器科技有限公司是一家专注于环境试验设备的研发、销售和服务为一体的科技企业。公司位于交通便利、工业繁华的北京市大兴经济开发区。自成立以来认真精细地完善每一步检验程序,严格要求产品的每一步工艺流程,追求*品质。依托企业自身的人才、技术、资金为科研、电子、汽车、石油、化工、医疗、通讯、各大院校等企事业单位提供符合GB、GJB、IEC、ISO、DIN等标准的各类试验设备及检测仪器,并可根据用户的需求设计制造各类非标专业性设备。

    

      公司一贯坚持“以质量求信誉,以信誉求发展”,用严格的管理手段及过硬的质量为广大客户提供优质的产品,关心客户的切身利益,服务周到完善,为客户的发展提供可靠的支持。公司秉承“创新理念,追求zhuo越”的经营理念,一如既往地为广大新老客户提供专业可靠的产品与服务,树立“中科博达”品牌形象。为方便广大客户能够及时提供全方面的的售前咨询、售后服务,公司在各大重点城市均设有办事处,真诚为您服务!
 
产品系列: 
高温试验箱、低温试验箱、恒温恒湿试验箱、低温恒温试验箱、高低温试验箱、交变高低温试验箱、高低温湿热试验箱、交变高低温湿热试验箱、盐雾腐蚀试验箱、二氧化硫试验箱、鼓风干燥箱、高温烘箱、真空干燥箱、温度冲击试验箱、紫外光老化试验箱、氙弧灯耐气候试验箱、臭氧老化试验箱、换气老化试验箱、沙尘试验箱、淋雨试验箱、摆管淋雨试验设备、滴水试验设备、振动台、振动试验机、二氧化碳培养箱、霉菌培养箱、热空气消毒箱、低温培养箱、药品稳定试验箱、防锈油脂试验箱、大型盐雾试验室、大型低温恒温试验室、大型高低温检测试验室。

详细信息

HMDS预处理高温烘箱

产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。    


一、产品规格:

型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450    

型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600  


二、 技术参数:

1、控温范围:RT+10~250℃

2、温度分辨率:0.1℃

3、温度波动度:±1℃

4、达到真空度:小于133Pa

5、真空度:100Pa~100000Pa

6、定时范围:1~9999min

7、工作室材料:316L

8、样品架:2块、3块

9、真空泵:4L/S

10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制

11、总功率:3000W、4500W


三、产品特点:

1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。


四、HMDS预处理系统操作流程:

1、首先确定烘箱工作温度;

2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分;

3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应;

4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。


五、控制系统:

1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器;

2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠;


六、保护系统:

1、漏电保护;

2、超温保护;

3、缺液保护;

             

七、设备使用条件:

1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃)

2、环境湿度:≤85%R.H

3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西;


八、HMDS预处理高温烘箱服务承诺:

保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。


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产品参数

产地类别 国产
价格区间 10万-15万
仪器种类 真空烘箱
应用领域 医疗卫生,生物产业
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