一、罗门哈斯超纯水抛光树脂UP6040参数：

阳树脂H+ 阴树脂OH-

含湿量，% 44.0-51.0 54.0-60.0

总交换容量，eq/L ³2.00 ³1.10

均一系数£1.20 £1.20

H型，%含量³99 -

OH型，%含量- ³95.0

Cl型，%含量- £0.5

CO3型，%含量- £5.0

SO4型，%含量- £0.1

二、罗门哈斯超纯水抛光树脂UP6040树脂特性：

在不再生的终端精制应用上，超纯水的质量是远较树脂的基特性来的重要，但暸解所使用的树脂特性以

得到最佳的效能及最长使用寿命仍然是不可忽视的。AMBERJET UP6040的主要树脂特性如下表所示 ，这些

数据显示了组成AMBERJET UP6040的阳阴树脂特性，而这些特性赋予AMBERJET UP6040高交换容量、均一

颗粒大小等的严格树脂标准。

三、UP6040抛光树脂应用及特性：

在半导体厂内的超纯水处理系统是一庞大的，复杂的系统，并包含了许多不同的单元，而整个系统的功能及设计主要是为了得到的超纯水。虽然没有任何单一的单元可以确保最终的采水水质，但是终端精制混床是超纯水在接触到半导体芯片前的最后一道化学精制的处理程序，其重要性是不可忽视的。不像对化学物质呈惰性的管路及过滤材料，离子交换树脂是带化学性反应的聚合物，所有的待处理水会*的通过树脂，因此精制混床树脂是除去微量化学污染物质的最后一道防线。除此之外，这些树脂绝不能释出任何物质，进而污染到不能间断的超纯水供水系统。因为这些严格的条件，终端精制混床树脂必须是最高的品质，且同时必须是准确的被使用的。