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1200度单温区CVD系统
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生产厂家上海马弗炉有限公司是一家集研发、生产、贸易于一体的综合性公司,公司拥有的工程技术人员,具有丰富的生产、制造和加工经验。企业长期坚持以诚信为本、质量为纲、精细的技术和精良的产品赢得客户的信任。以先进的设计理念、精益求精的工艺技术全心全意为客户服务。以追求优质的产品质量、准确的交付期、合理的价格、周到的售前、售后服务,赢的客户的信誉。上海马弗炉专业生产高温马弗炉等产品。
目前公司是一家设计,生产,销售为一体发专业电炉公司研制开发生产各种型号的升降炉、气氛炉、真空炉、管式炉,箱式炉等产品。这些以"上海马弗炉"为自主品牌的产品在中国为 科研院校、工业和商业实验室提供了广泛服务。
简介:
这款CVD系统是由3路供气系统+1200度单温区管式炉+真空系统组成
技术参数:
设备型号 | MFLCVD406-12 | |
性能 | 控温范围 | 室温-1200℃ |
工作温度 | ≤1100℃ | |
控温精度 | <1000 ±0.1℃ ; ≥1000±1℃ | |
恒温波动 | ±1℃(测试点为1000℃) | |
升温速度 | 推荐1000度以下≤10℃/min,最快升温速度≤30℃/min | |
降温速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
炉表温度 | 炉体表面温度小于室温+10(测量点为1000℃) | |
构成 | 外装 | 冷轧钢板,表面耐药性涂装 |
炉体 | 陶瓷纤维 | |
传感器 | 1200度K型热电偶 | |
加热元件 | HDR优质电阻合金丝 | |
冷却风叶 | 轴流风扇 | |
炉体结构 | 双层壳体结构,配有风冷系统 | |
控制器 | 控制方式 | PID控制 |
设定表示 | 数字设定/数字显示 | |
超温保护 | 控制器一体型 | |
超温设定 | 数字设定 | |
运行功能 | 定制运行/程序运行(30段程序控温) | |
附加功能 | 偏差修正、停电补偿、锁键功能 | |
定时器 | 1分-99小时59分以及999小时50分数字设定、自动运行、快速自动停止 | |
真空系统 | 真空度 | 1.选配机械泵可达真空 10的-2次pa 2.选配我司高真空系统(机械泵+分子泵组合),可达1.33*10的-4次方pa(空炉状态) |
隔热管堵 | 2只,氧化铝材料 | |
炉管 | 石英管 | |
真空法栏 | 不锈钢真空法兰 | |
压力表 | -0.1至0.15mpa | |
供气系统 | 质子流质计 | 量程和气体:5-500SCCM、1-10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) 流量控制精度 ±1.0%F.S |
路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) | |
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | |
压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |
安全 | 工作环境 | RT±5-40℃ |
使用保障 | 开门断电 超温报警 漏电保护 过温保护 | |
规格 | 炉体结构 | 卧式 |
炉管尺寸 | Φ60mm | |
电源电压 | 220V50HZ | |
输入功率 | 4KW | |
出厂清单 | 管式炉 | 一台 |
供气系统 | 一套 | |
高温手套 | 卡斯顿一双 | |
炉勾 | 一把 | |
气管 | 一根 | |
设备说明书 | 一份 | |
仪表说明书 | 一份 | |
保修卡 | 一份 | |
选购品 | 移动炉架 | 不锈钢 |
触摸屏仪表485转换接口 | 50段编程,可实现与计算机连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。 |
产地类别 | 国产 |
加热方式 | 电阻丝加热 |
价格区间 | 5万-10万 |
控温精度 | 1℃ |
内部尺寸 | 60*1000mm |
升温速度(达到最高温) | 60/min |
仪器种类 | 管式炉 |
应用领域 | 化工,石油,能源,制药,综合 |
最大功率 | 4KWkW |
最高温度 | 1200℃ |