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起订量：
HOOL L61200A 300mm通用组合水平式检测干涉仪
- 型号
- HOOL L61200A
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冠乾科技Grant Technology 有限公司创立于中国上海。 公司为用户提供先进可靠的设备及、
仪器技术，为客户把握工艺过程，得到优质的结果而服务。
Grant是“授予”的意思，希望公司能够成为一个平台，以用户能够得到上更新更快的技术资讯，技术方案为企业目标。
冠乾科技追求品质产品、专业的应用和完善的售后服务，我们是您可以信赖的合作伙伴。
工艺设备：真空镀膜机；离子束刻蚀机，ICP刻蚀机，等
产品线丰富，元素分析:原子吸收,气相色谱，液相色谱，气质联用，紫外分光光度计等； 热分析：材料表面分析：原子力显微镜，光学轮廓仪，摩擦磨损等； 通用分析：扫描电镜，
实验室仪器
原子吸收光谱仪
近红外光谱仪
紫外分光光度计
电化学工作站
红外光谱仪
镀层测厚仪
数字显微镜
影像测量仪
Wafer 粗糙度检测
3D 轮廓仪
超景深显微镜
TTV 测试
扫描探针显微镜
台式扫描电镜
其他仪器：
四探针测试
离子减薄机
详细信息
（1）应用领域
●光学平面计量
●半导体晶圆
●半导体掩膜版基板
●同步辐射
●光刻机光学元件
●航空航天折返成像系统
●空间光学器件
●强激光平板玻璃测量等
实现大口径光学表面面形、透射波前、光学均匀性等参数的检测。
（2）产品综述
300mm通用组合水平式检测干涉仪是慧利仪器“大口径相移式激光干涉仪系列产品之一。它采用经典的斐索型共光路设计，结构简单、在适用于多种被测样品的前提下，使用数字化相移分析方法实现高精度、多功能的检测。
慧利仪器300mm通用组合水平式检测干涉仪不仅实现了干涉测量技术从小口径到大口径的更新拓展，而且填了国内制造业和国家质检部]对高精度平面检测设备需求的空白。
（3）参数性能
测量原理： | 斐索干涉原理 |
光源波长： | 632.8nm（稳频氦氖激光器）/633nm(波长调谐激光器） |
样品准直： | 双光点对准，对准角±3度 |
电源: | AC 220V 50HZ |
操作系统： | Windows系统，银河麒麟操作系统 |
CCD分辨率： | 1024*1024像素 2048*2048像素 |
软件： | HL 数字化相移分析软件 |
精密度： | ≤入/600 |
PV测量重复性： | ≤入/600 |
RMS测量重复性： | ≤入/8000 |
| RMS波前重复性： | ≤入/1800 |
透射平面镜精度： | A/20 PV |
◆材质均匀性
◆超精密平面/球面面形测量
◆光学系统装调和校准
◆光学组件透射波前测量
◆光学均匀性测量
◆平行度测量
◆角锥角度测量
我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制
部分客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,上海现代*进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。
