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美国Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552

型号
参数
产地类别:进口 应用领域:化工
河北恒仪电子科技有限公司

初级会员3年 

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详细信息

产品名称: 美国Teledyne API SCI-552 -臭氧发生器控制器

型号系列:SCI-552

品牌:Teledyne API

产地:美国

订货号:SCI-552

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美国Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552介绍:


SCI-552是臭氧输送系统的控制器,能够为很多系统部件提供电气控制界面,包括:臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。SCI-552基于软硬件特点,提供了很多系统联锁功能,它灵活性高,允许用户通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入来控制整个系统。SCI-552能够支持两台臭氧发生器并提供两条独立的臭氧输出渠道。


美国Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552特征:


RS-232 MODBUS远程支持
**多控制2台臭氧发生器
**多与2台452和470臭氧测量仪器交互
**多控制4台质量流量控制器
**多控制2台背压控制器
**多控制2个EV阀
**多控制1台水冷却器
系统联锁输入
远程系统级别控制和状态输入/输出

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美国Teledyne API SCI-552臭氧发生器控制器应用:

化学气相沉积(CVD)
原子层沉积(ALD)
氧化物生长
表面处理
灰化
粒子清洁
光刻胶去除
其他

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美国Teledyne API SCI-552臭氧发生器控制器规格:

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产品参数

产地类别 进口
应用领域 化工
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详询客服 : 0571-87858618
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