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5951DD4 格里尔斯科氏气体流量控制器
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生产厂家GRYLLS(音译:格里尔斯)团队始建于2004年,是一家专业从事精确科学流体测控设备设计、制造、和方案的解决供应商。
当人类观察这个世界时,会发现自己生活在一个充满各种流体的世界。人们的生活被流体笼罩,人类自身也离不开流体。鹰击长空、鱼翔浅底;许许多多的现象都与流体有关。生活中的很多事物都在经意或不经意间巧妙地掌握和运用了流体力学的原理。人类为了更好的掌握流体的运动过程,需要对其进行精确科学的观测。而测量、控制这些气体与液体对于当今社会与工业的发展*,也可以说是人类永恒的课题;以此为使命、我们创立了GRYLLS。
自GRYLLS创立以来,始终以“Accurate scientific fluid、精确的科学流体”为企业理念,潜心钻研微小流量领域的测量与控制。经过18年的刻苦钻研、经验积累、反复打磨,不断的更新换代升级优化,从当初的胚胎状态优化到工业产品的精益求精,GRYLLS一直与行业同行,在工程部和研发部,多位骨干技术人员孜孜不倦的配合努力下,GRYLLS先后研发出具有高耐压属性5900系列热式原理、快速反应6600系列差压原理、在介质压力、密度、粘度、电导率和温度变化的情况下仍具有超高精度8100系列科里奥利原理的质量流量计及质量流量控制器。GRYLLS产品流量、压力、温度适用范围宽广,可选择性强。目前已经广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、生物医药、标准检测、燃料电池、食品饮料、体外诊断、工业生产等等方面。
GRYLLS格里尔斯科氏气体流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
带显示屏和操作按键尺寸图
GRYLLS格里尔斯科氏气体流量控制器5951DD4主要技术指标:
1 | 量程范围 | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM |
2 | 准确度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 线性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重复精度 | ±0.2%F.S |
5 | 响应时间 | 电特性:10sec 气特性:(1~4)sec |
6 | 工作压差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐压 | 3MPa |
8 | 工作环境温度 | 0~70℃ |
9 | 数字量 | RS485 MODBUS协议 |
10 | 模拟量 | DC 0~5V ,4~20mA 可选 |
11 | 供电 | DC +15V/24V 可选,流量计<400mA,控制器<600mA |
12 | 电气连接 | DB15 |
13 | 漏率 |