德国 米铱 Micro-Epsilon 干涉仪 型号 IMS5400-TH70/MP

Micro-Epsilon产品范围包括用于测量距离和位移的传感器、用于红外温度测量和颜色检测的传感器，以及用于尺寸测量和缺陷检测的系统。产品主要应用于光电传感领域，工业自动化领域，半导体领域等。

北京汉达森机械技术有限公司是一家专业从事欧洲工业产品进口贸易的公司。主要产品有工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。公司总部于2007年在德国成立。公司自成立以来，一直以德国公司的身份为国内一些贸易商，设备商及终端客户提供产品代购服务。

产品参数：

型号：IMS5400-TH70/MP

工作距离：70mm±2.1mm

测量范围（厚度）：0.035…1.4mm1)

分辨率：<1nm

测量速率：从100Hz到6kHz连续可调

线性度：<±200nm

传感器温度稳定性：在整个温度范围内有效的线性

控制器温度稳定性：温度补偿，稳定性<10ppm在+15...+35°C之间

多层测量：upto5layers

光源：NIR-SLED，波长840nm，Pilot激光器：激光LED，波长635nm

激光类：1级，符合DIN-EN60825-1:2015-07引导激光器：1级，功率(<0.2mW)

光斑直径：5µm

测量角度：±4°

电源电压：24VDC±15%

能量消耗：大约10瓦（24伏）

信号输入：同步输入、触发输入、2个编码器（A+、A-、B+、B-、索引）

数字接口：以太网/EtherCAT/RS422/PROFINET6)/EtherNet/IP6)

模拟输出：4...20mA/0...10V（16位D/A转换器）

开关量输出：错误1输出、错误2输出

数字输出：同步输出

光纤连接：通过E2000插座（控制器）和FC插座（传感器）可插拔光纤；标准长度3m、5m和10m；可根据要求提供其他电缆长度；弯曲半径：静态30mm，动态40mm

电气连接：3针电源接线板；，编码器连接（15针，HD-sub插座，最大电缆长度3m，30m，带外部编码器电源）；RS422连接插座（9针，Sub-D，最大电缆长度30m）；，3针输出端子排（最大电缆长度30m）；11针I/O端子排（最大电缆长度30m）；用于以太网（输出）/EtherCAT（输入/输出）的RJ45插座（最大电缆长度100m）

传感器安装：夹紧，安装适配器（见附件）

控制器安装：独立式，DIN导轨安装

储存温度范围：-20...+70°C

工作温度范围：传感器：+5…+70°C；，控制器：+15…+35°C

冲击(DINEN60068-2-27)：XY轴15g/6ms，每个1000次冲击

振动(DINEN60068-2-6)：XY轴2g/20…500Hz，每个10个周期

真空：可选的UHV（电缆和传感器）

传感器材料：不锈钢

控制器材料：铝制外壳，被动冷却

控制和指示元件：多功能按钮：两个可调功能，10秒后恢复出厂设置；，网页设置界面：可选预设，自由选择平均，数据缩减，设置管理；6个彩色LED，用于强度、范围、SLED、引导激光、状态和功率；，引导激光：可切换用于传感器对准（激光LED635nm，激光等级1，功率<0.2mW）

德国 米铱 Micro-Epsilon 干涉仪 型号 IMS5400-TH70/MP