美国TEM气体过滤器TEM-250-24用半导体制造

TEM-228-16 1.0“内螺纹NPT入口/出口640.1 mm（25.2”）

TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm（25.1”）

TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm（25.1”）

TEM-260-DN50法兰（详见图纸）643.1 mm（25.32”）

TEM-250-24过滤器应用

•一般和工艺惰性设施气体。

•关键工艺的清洁干燥空气（CDA*），包括前开口统一吊舱（FOUP）清洁和光刻。

TEM-250-24过滤器功能和优点

•电抛光外壳

过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳，防止腐蚀和粒子在内表面上积聚。

•包装外清洁度

我们的GasPro™ 清洁TEM-200过滤器，并包装在无尘室内，不含有机物包装外、无颗粒和无化学品清洁度。最终组装已清除使用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。

•多种配件选项，便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封，压缩、对焊和NPT。特殊配件，包括三夹钳（三叶草）卫生和法兰类型，可根据要求提供。

•氦泄漏测试

所有装置均以1x10-9 atm cc/s的速度进行测试。

。该放就放了吧，该弃就弃了吧，该舍就舍了吧，该忘就忘了吧！当我们无法改变事实时，我们可以改变自己的想法，改变面对生活的态度，从而改变结局。当我们能接受已经发生的，改变能改变的，烦恼自然就会越来越少。”

HYLIK海历克张涛张经理今天给大家讲讲关于TEM过滤器TEM-250-32技术参数以及产品规格，目前没有现货额，订货周期10-12周左右，现在随着美元汇率增长价格会有所增长额，常用于半导体制造，太阳能制造行业，微电子行业广泛使用中。美国TEM气体过滤器TEM-250-24用半导体制造

GasPro™ TEM-200系列滤波器设计用于3 nm颗粒截留率高达200 scfm，且温度高达80?C（176F）。ePTFE膜（1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撑结构封闭在316L不锈钢外壳，具有出色的流动性和耐化学性。使用标准Vitono形圈（其他o形圈材料可在重新测试时获得）。

美国TEM-311-24过滤器参数:

我们的多孔ePTFE过滤器提供有效的颗粒滞留3 nm。

最高工作温度* 80°C(176°F)。 建议更换:在69C(156F)以上工作6个月。

最大工作压力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。

最大正向差压20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)

一般和工艺惰性设施气体，用于半导体，脂肪板显示和其他高纯度应用。 G酶用于关键的脂肪板工艺，包括衬底退火。 对于关键工艺，包括前开口统一吊舱(FOUP)清洗和光刻，采用稀薄干燥的空气。

TEM-200零件号和订购信息

零件号入口/出口配件过滤介质/外壳其他材料长度（L）

TEM-215-16 1.0“阳垫圈密封入口/出口

PTFE/316L不锈钢聚丙烯

氟橡胶®密封*658.4毫米（25.92英寸）