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DM200-SE 全封闭式桌面显影机
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生产厂家 江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴,是一家初期以高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。2020年8月,江苏雷博科仪通过资源整合,将雷博科仪中发展起来的的工业半导体设备业务分拆出来成立了江苏雷博微电子设备有限公司。两家公司使用同一品牌 ,独立经营不同系列产品。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术力量雄厚,人才济济,凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现,在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可靠性匀胶机荣获江苏省高新技术产品,是国内匀胶机全系列、多功能、定制化服务的供应商。
公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备:Schwan technology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌,主要有匀胶机、显影机、烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品;LEBO science®是我们的工业半导体设备品牌,主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。
公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及先进封装等领域,具有核心技术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。
公司目前团队人数80多人,业绩和规模处于快速扩展期,2013年起年销售额一直保持快速增长,目前正准备二轮融资扩产。公司生产厂房设有装配洁净车间及黄光试验区,其中生产区域约1500平方米,办公及仓储区域约1000平方米。
产品优势
·全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。
·外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。
·内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。
·内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。
·真空压力可调,压力值实时显示。
·液体流量可调,回吸可调。
产品参数
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8”圆晶)
·转速分辨率:±1 RPM
·旋涂速度:20-3000rpm(空载)
·旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)
·工艺时间设定: 0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec
·该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液,1路纯水,1路氮气)
·单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序
·可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。
设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。