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KT-C4ZS 质量流量计智能气体配比器
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生产厂家郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 及*校,科探仪器已经成为老师 同学欢迎和信任的品牌之一
公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
质量流量计智能气体配比器,可选配七星各种系列流量计,触摸屏控制调节不同时间不同流量气体,操控简单,
CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品,该产品在原有CS200气体质量流上,采用了基于DF的压力信号补小偿算法,全量控制器的基础新的金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEM标准,支持Ⅵ型,C型GS气路系统。
• 准确度采用设定点精度,产品精度可达±1.0% S.P.,响应时间最快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能,对前段气体压力的扰动进行有效的补偿,减少压力变化对瞬时流量影响,从而保证产品工作的稳定性和准确性。
质量流量计智能气体配比器KT-C4ZS资料 ;
产品型号 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
气体通道 | 4进1出 | 4进1出 | |||
可根据需求定制 | |||||
产品类型 | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | ||||
可选量程 | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | ||||
产品精度 | 高精度型±1%F.S | 普通型±1%F.S | |||
重复精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
线性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
响应时间 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作温度范围 | (5~45)°C | ||||
供电电源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
最大功耗 | 40W | ||||
进气口压 | ≤0.6MPa | ||||
连接管道 | 316不锈钢管道 | ||||
截止阀类型 | 电磁阀 | ||||
单向阀开启压力 | 0.02Mpa | ||||
压力显示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸触摸屏智能调节 | ||||
时间设定 | 0-32000分钟 | ||||
清洗功能 | 一键清洗 | ||||
程序控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | ||||
压力显示 | 有(出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路) | ||||
气体混合罐 | 有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀) | ||||
气体加热 | 无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温至350℃可调) | ||||
流量累计 | 有(累计当前运行总流量) | ||||
可选进出气口接头形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 | ||||
抗电磁干扰 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG~20KG |