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HMDS真空烤箱 药水烘箱
中级会员第9年
生产厂家苏州三清仪器有限公司主营从事环境试验、环境测试、安全防护等相关领域的产品的研发、方案设计及销售。
主营产品: 真空干燥箱、鼓风干燥箱、电热干燥箱,恒温干燥箱,高温干燥箱,烘箱,湿热试验箱,高低温湿热试验箱、高温试验箱、恒温恒湿箱、恒温培养箱、生化培养箱,霉菌培养箱;全自动氮气柜、电子防潮柜、智能防潮柜,防火防爆柜、防火防磁柜、化学品安全柜、防静电安全柜 等。产品广泛应用于:电子,化工,制药,机械加工,高校实验室,医疗机构,食品,科研单位等各个领域,赢得了行业内的广泛认同及推荐使用。
优质的产品
三清为客户提供的每一款产品,都经过严格的检测及测试,取得相关检测机构的产品质量证书,并在各领域内已得到广泛使用。三清经多年的努力,加上客户的支持,已经在客户中享有较高的声誉并赢得较强的信任。
完善的服务系统
三清一直秉承“科技创新、品质服务”的企业宗旨,为客户提供售前到售后的*服务。三清仪器为每位客户提供售前技术咨询、以及售后的人员培训。同时会建立起清晰详细的客户档案体系、以便快速准确的为客户服务。具备专业维修素质的服务队伍,建立的售后服务中心,要求做到积极、责任、坦诚,为我公司售出的产品提供全面周到的服务,令客户满意。
富有活力的团队
公司有一支团结、高效、素质和能力双高的员工队伍,正是因为有了他们,才会有公司的今天、明天和未来。随着公司的不断成长,公司的队伍也在壮大。公司会为新员工提供岗前培训,为全体员工定期进行企业培训和拓展训练,这加强了企业的凝聚力,提高了团队的战斗力。整个团队为客户提供好质量的产品,贴心的服务的目标进发。
企业文化
企业使命:做行业的保质保量的品牌。
企业精神:致力于工业、实验室行业设备企业。
企业价值观:用心做事、诚信为人;没有说服、只有互信。
MI—— 理念识别:为工业及实验室行业做一份有始有终的幸福事业。
VI—— 视觉识别:用超前的眼光来维护行业标准。
BI—— 行为识别:用严谨诚信的行为标准来取信客户。
HMDS真空烤箱 药水烘箱产品性能特点:
1)设备外壳采用医用级不锈钢316L不锈钢材质制作,内胆为不锈钢316L材料制成;采用C型不锈钢加热管,均匀分布在内胆外壁,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置;采用钢化、双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。
2)箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内保持高真空度。
3) 采用微电脑PID控制,系统具有自动控温,定时,超温报警等,采用LCD液晶显示,触摸式按钮,简单易用,性能稳定,智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间。
5)HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,使真空箱密封性能好,确保HMDS气体无外漏顾虑。
6)整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作,无发尘材料,适用百级光刻间净化环境。
HMDS真空烤箱 药水烘箱的原理:
HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS系列预处理系统的一般工作流程:
首先确定烘箱工作温度。典型的预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图:首先加热到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS与表面的OH一反应,在硅片表而生成硅醚,消除氢键作,从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(*基硅烷基较大)阻止其进一步反应。