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cito-1370-WC7B-P37A-FF COMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW
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- cito-1370-WC7B-P37A-FF
神州科技是中国地区半导体产线电源系统服务厂商,位于江苏省扬州市维扬开发区,现有员工300人,工程师230人,模拟测试线20条，已建成完整全面的高精度,高功率：直流、射频、微波、网络匹配器、远程等离子发生器 等综合测试平台，是国家火炬计划项目《等离子电源研发，应用平台建设》承接单位。公司业务遍及亚洲，于日本、新加坡、韩国分设办事处。
神州科技为芯片产线，光伏产线，液晶面板制造产线，工业玻璃镀膜产线，LED新光源产线，以及医疗、科研真空，各类高科技产业等离子系统提供电源系统的维修，备件支持，设备租凭服务。神州团队严谨创新，高效热诚，服务世界半导体产业。
详细信息
COMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW RF Generator 可提供优秀的脉冲品质，稳定性及功率投射准确性，使其不仅对于非半导体的应用，同时对于如等离子沉积及蚀刻等的半导体类应用来说也是可靠的选择。COMET cito Series 可以长时间稳定运行，故障率低，能够在提高产能的同时降低运行成本。
COMET cito Series 高频射频电源 优点
1.具有更好的等离子稳定性，可确保工艺的重复性
2.具有高筑波比的理想脉冲波形
3.具有更精确的功率输出，可对等离子工艺进行更精确的控制
4.对于电缆长度的低敏感性可使其更易于与设备整合
5.具有更高的工作效率及更低的使用成本
COMET 高频射频电源 cito1370 13.56MHz 7KW 射频发生器 规格
型号：cito-1370-WC7B-P37A-FF
AC输入：400~480V，3phase，50/60Hz，3x22A @400V
RF输出：7000W，13.56MHz，837V，50 Ohm
通信接口：RS232，Ethernet，DB25 Analog/Digital，9-pin matching bus
安装机架：标准19英寸机架装配
