- 面议
起订量：
MKS ASTex AX8407 臭氧发生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator
- 型号
- MKS ASTex AX8407
神州科技是中国地区半导体产线电源系统服务厂商,位于江苏省扬州市维扬开发区,现有员工300人,工程师230人,模拟测试线20条，已建成完整全面的高精度,高功率：直流、射频、微波、网络匹配器、远程等离子发生器 等综合测试平台，是国家火炬计划项目《等离子电源研发，应用平台建设》承接单位。公司业务遍及亚洲，于日本、新加坡、韩国分设办事处。
神州科技为芯片产线，光伏产线，液晶面板制造产线，工业玻璃镀膜产线，LED新光源产线，以及医疗、科研真空，各类高科技产业等离子系统提供电源系统的维修，备件支持，设备租凭服务。神州团队严谨创新，高效热诚，服务世界半导体产业。
详细信息
MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 是一款高浓度、高流量的臭氧发生器，通过无声放电将纯氧转化为臭氧，实现高输出和高浓度水平。AX8407 只需要掺入微量的氮气，远远低于其他臭氧发生器所需的氮气水平，因此最终产生的如氮氧化物之类的污染物的含量是很低的。
MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 参数规格
类型：臭氧气体发生器
臭氧输出：335g/Nm3
流量：5~40slm
原料气：6级或是更好的氧气；100~1000ppm 5级或更好的氮气
额定腔室压力：15~45psig（100~310kPa）
压力：20~30psig
水冷温度：5~25℃
水冷过滤：100微米
水冷水质：电阻率≥50KΩ/cm
水冷流量：7.6L/min MIN
AC输入：208VAC（±10%），3 phase，15A，50/60Hz
设备重量：50kg（130LB）
尺寸规格：483 * 445 * 267 mm
MKS ASTeX AX8407 特征
1.臭氧浓度在 5°C 时高达 335 g/Nm3 或 21.7 wt%
2.5slm ~ 40slm的 O2 流量可实现工艺灵活性
3.优秀的腔室结构设计可产生高浓度臭氧
4.闭环操作可实现更严格的过程控制
