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HPK6R3ZI-TE8-PULSE-B KYOSAN 高压直流电源 HPK6R3ZI DC Power
- 型号
- HPK6R3ZI-TE8-PULSE-B
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神州科技是中国地区半导体产线电源系统服务厂商,位于江苏省扬州市维扬开发区,现有员工300人,工程师230人,模拟测试线20条，已建成完整全面的高精度,高功率：直流、射频、微波、网络匹配器、远程等离子发生器 等综合测试平台，是国家火炬计划项目《等离子电源研发，应用平台建设》承接单位。公司业务遍及亚洲，于日本、新加坡、韩国分设办事处。
神州科技为芯片产线，光伏产线，液晶面板制造产线，工业玻璃镀膜产线，LED新光源产线，以及医疗、科研真空，各类高科技产业等离子系统提供电源系统的维修，备件支持，设备租凭服务。神州团队严谨创新，高效热诚，服务世界半导体产业。
详细信息
KYOSAN 高压直流电源 HPK6R3ZI DC Power Supply 是经过长期现场验证的具有优秀工艺稳定性和控制能力的高压直流电源，广泛用作半导体制造装置、平板显示器、太阳能面板等制造工艺的直流电源，并且支持无弧反应溅射。
KYOSAN HPK Series 设备特点
1.配备了CPU的数值控制与通信功能，同时操作非常简单
2.可以在DC电压的广泛范围内供应额定电力，适用于高速电弧阻断功能必*光学膜（SiO2,TiOx）、耐磨损膜（SiOx,Al2O3）以及透明传导膜（ITO）的成膜工艺
3.支持与RF系统之间的耦合功能
KYOSAN 高压直流电源 HPK6R3ZI DC Power Supply 技术参数
型号：HPK6R3ZI-TE8-PULSE-B
AC 电源输入：200 ~ 220V，3 phase ~，50/60Hz，20A
DC 电源输出：1200V，4A
散热方式：风冷散热
设备重量：50kg
通信接口：DeviceNet、DIO、Debug
