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AX7645PS-01 MKS 远程等离子体源 ASTRON hf-s 15L RPS
- 型号
- AX7645PS-01
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神州科技是中国地区半导体产线电源系统服务厂商,位于江苏省扬州市维扬开发区,现有员工300人,工程师230人,模拟测试线20条，已建成完整全面的高精度,高功率：直流、射频、微波、网络匹配器、远程等离子发生器 等综合测试平台，是国家火炬计划项目《等离子电源研发，应用平台建设》承接单位。公司业务遍及亚洲，于日本、新加坡、韩国分设办事处。
神州科技为芯片产线，光伏产线，液晶面板制造产线，工业玻璃镀膜产线，LED新光源产线，以及医疗、科研真空，各类高科技产业等离子系统提供电源系统的维修，备件支持，设备租凭服务。神州团队严谨创新，高效热诚，服务世界半导体产业。
详细信息
MKS 远程等离子体源 ASTRON hf-s 15L RPS （Power Supply Part）是经过长期现场验证的具有优良性能和高可靠性的高性能远程等离子体源，是沉积和蚀刻室清洁工艺的关键子组件，消除了工艺副产物从室壁积聚，增加工艺工具的寿命，并减少薄膜污染的来源。ASTRON Series RPS 可以以各种不同的配置安装在硅晶圆或大面积基板工艺室上。ASTRON Series RPS效果良好且更加经济可靠，为CVD室清洁，FPD（平板显示器）提供所需的反应气体室清洁，太阳能室清洁，光刻胶堆灰，氧化，氮化和化学消减。
MKS 远程等离子体源 ASTRON hf-s 15L RPS技术参数
设备型号：ASTRON hf-s 15L
AC输入：200 ~ 208V，3 phase ~，50/60Hz，50A
终端耳状柄扭矩：50 in-lbs（5.6 N-m）
散热方式：水冷散热
水冷水压：100 PSIG（Max.）
通信接口：ENet / RS-232 / Cust I/O
