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QRUI-3 系列探针台

型号
上海骐锐信息科技有限公司

高级会员5年 

经销商

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上海骐锐信息科技有限公司是一家系统集成科贸企业。公司专业提供国产、进口精密测试仪器及系统集成解决方案,拥有一支专业技术服务团队,为新老客户提供完善的售前售后服务。 公司主要服务于通讯、电力、电子、石化、工业自动化、科研教学等行业。 公司全体同仁坚持诚信经营,时刻为客户提供高效满意的服务,以获取于客户长期愉快的合作,实现双赢。公司与以下国内外厂商建立了长期合作关系:日本安立公司,美国泰克 Tektronix 公司 南京盛普 Sample 公司 美国福禄克 Fluke 公司 北京普源精电 Rigol 公司 美国安捷仑 Agilent 公司 中国台湾茂迪 Motech 公司 美国艾法斯 Aeroflex 公司 中国台湾固纬 Goodwill 公司 美国吉时利 Keithley 公司 日本岩崎 Iwatsu 公司 美国国家仪器 NI 公司 日本爱德万 Advantest 公司 美国 Magtrol 公司 德国惠美 Hameg 公司 韩国 Tescom 公司 安徽 41 所 韩国金进 Jungjin 公司 常州同惠

详细信息

QRUI-3 系列探针台产品简介:

        是一款高配置综合型手动测试探针台, 该系列探针台设备配置丰富 ,基本可以满足一般实验室的全部测试要求。其样品台可以360度快速移动 ,便于快速定位样品位置 ,提高测试效率。并且具备载物台气浮快速移动三挡控制 ,快速实现器件定位;另platen抬杆功能,不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。这样就使的此设备在使用探针卡测试的时候非常方便。 此设备一般适用于大型实验室或者半导体工厂。


产品优势:

显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。

Platen二阶抬杆,便于样品和探针快速分离 ,也可以用于探针卡的扎针。

可升级性强 ,最高可升级 220G 高频 ,也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等

载物台气浮快速移动,可快速定位测试样品,三挡控制,X,Y,XY方向,可实现单方向移动


QRUI-3 系列探针台详细参数:

 

术参数

产品型

QRUI-3-150

QRUI-3-200

QRUI-3-300

 

 

 

针台

电压电流(可定制)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

材料

航空铝

卡盘大小

6" ,360 度转动, 可微调

8"  ,360 度转动  ,    可微调

12",360 度转动 ,可微调

卡盘行程和精度

6"*6"  ,精度 1um

8"*8"  ,精度  1um

12"*12  ,精度 1um

卡盘气浮移动范围

气浮快速移动,三挡控制,X方向,Y方向,XY方向同时,便于快速定位 ,提高测试

卡盘升降功能

ChuckZ轴升降10mm,精度为1um

卡盘吸附方式

真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附   (适用于薄片或者射频器件)

背电极测试功能

样品台电学独立悬空   4mm 香蕉头插口

 

座平

U 型平台  ,镀镍  ,与探针座之间具备更强吸附力

最多可放置6个探针座

最多可放置8个探针座

最多可放置12个探针座

降平台

二阶抬杆一次性6mm,接触,分离;微调行程为50mm,分辨率为1um

 

显示系

显微镜成像系统

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统

率范围

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构 气浮升降    XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ,    精度 1um

CCD 成像系统

200 万/500 万像素  ,    帧率 60fps ,带拍照、     录像、     测量功能

 

针座

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

电精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率

力需求

220V/50HZ

详细配置方案可讨论后给出


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