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Transpector XPR 3+ 美国INFICON英福康残余气体分析仪
- 型号
- Transpector XPR 3+
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恒仪公司，致力于为中国用户提供全球优质工业品，总部设在河北。为了保证产品质量、价格、货期及售后的优势，采用自营方式，并在美国、德国、香港设有办事处，可直接通过各国办事处向全球品牌厂商源头采购工业品，从而使得我们销售的每个产品均能为用户提供完善保障，让用户采购更轻松、更省钱、更放心。
主要经营产品包括：仪器仪表、机电设备、工具、工控、机械、自动化等工业品。服务领域包括：工业制造、科研教育、生命科学、食品安全、环境保护、能源化工、医疗卫生等。
公司自成立起就以诚信为本、平等互利、重合同、守信用为原则服务客户。广泛开展“双赢”和“多赢”合作，在全球已与2000多家工业品制造商或品牌建立了密切合作关系，积攒了一批优质的资源，积极用于服务每一个客户。
详细信息
产品名称：INFICON残余气体分析仪(Transpector XPR 3+)
品牌：美国INFICON
产地：美国
型号：Transpector XPR 3+
扩大的压力范围 RGA - 传感化创新
监测并控制快速过程变化
新的 Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪 (RGA) 提供业内**的测量速度，以监测并控制现代半导体和显示屏生产所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+ 非常适合于现场空气漏点、气体纯度、碳氢化合物和污染监测。相比定期上升率测试，Transpector XPR 3+ 进行的实时测量可提供产品保护
通过**化工具使用时间促进盈利能力
Transpector XPR 3+ RGA 是用于溅射压力范围应用的经实践验证的四极和双离子源传感器。无需压力转换设备，部件使用寿命长，能快速检测并诊断问题，从而**化工具可用性、产品吞吐量和产量。传感器可在高真空到 20 mTorr 范围连续工作，无需泵。Transpector XPR 3+ 双离子源腔室设计用于限制涂层，以保持离子源灵敏度，并延长传感器平均维护时间。
美国INFICON英福康残余气体分析仪Transpector XPR 3+好处：
从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板
**化 PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件
通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计**小化总体拥有成本；无需泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
通过定制配方优化增强生产能力
通过即时现场专家响应保护关键过程需求
美国INFICON英福康残余气体分析仪Transpector XPR 3+典型应用：
PVD 和溅射过程模块
预清洗模块
非群集 PVD 工具
夹钳式除气模块
