$item.Name

首页>半导体行业专用仪器>薄膜生长设备>其它薄膜沉积设备

FPPIC-R-200-standard 科研型原子层沉积系统,picosun公司ALD系统

型号
FPPIC-R-200-standard
孚光精仪(中国)有限公司

高级会员8年 

经销商

该企业相似产品

离子体灰化蚀刻系统

在线询价

ALD系统,共形导电薄膜,原子层沉积

在线询价

COVAP物理气相沉积系统,PVD系统

在线询价

离子束沉积系统,离子shu沉积溅射镀膜

在线询价

电子束蒸发系统,EB-4P电子shu沉积系统

在线询价

反应离子刻蚀系统,等离子体反应li子蚀刻机

在线询价

感应耦合反应离子刻蚀系统,ICP-RIE蚀刻系统

在线询价

矢量网络分析仪校准器,VNA自动校准仪

在线询价
飞秒激光微加工系统,激光器,激光晶体,原子力显微镜

孚光精仪是进口精密仪器和实验室仪器设备供应商,是*基于激光和成像等光子技术分析测试仪器的规模性进口商和代理商,服务商。
孚光精仪公司以精密光学技术为特色,以光学应用为宗旨,以欧洲,北美和日本进口精密仪器为主业,为中国客户提供*分析测试仪器产品,促进光学技术产品在中国的应用和相关技术水平提升。

21世纪是光学世纪,激光,光谱,光学成像等光学技术极大地促进生物光子学,燃烧和流体力学光学诊断,光谱测试分析等学科发展和技术提升,成为前沿科学和先进制造*的分析,计量,测试和实验工具手段,因此“光学”成为“精密”的代名词,是*精密测试分析的有力实验技术。


孚光精仪公司就是这样一个以光学为特色的进口仪器和实验室设备公司,拥有齐全的进口精密(光学)仪器种类,庞大而可靠的国外生产商群体,和快捷高效的贸易体系,是用户信赖的进口分析测试技术仪器和实验室仪器的旗舰型供服务商。

公司品牌释意


孚:信服/conviction

光:光学/optics

精:精密/

precision
仪:仪器/Instruments

我们信服于光学,致力于光学精密仪器事业。


公司价值
孚光精仪-精通光学,服务科学

经验丰富的激光和光学技术工程师帮助用户出具方案,确认适合应用的精密

光学仪器和科学仪器装置,为用户提供“舒心,省心”的进口体验。
以丰富的进口操作经验和电子商务管理体系,高效沟通国外制造商,为用户提供高效的仪器进口和购置服务!
齐全的光学种类
涵盖了所有光学和激光技术应用领域和相关仪器

荧光光学成像仪器 (包括FRET系统,TIRFM显微镜系统, 钙成像显微镜系统,荧光寿命成像系统,生物发光和荧光发光成像系统等生物光子学仪器)

分子生物学

光学仪器( 包括凝聚成像,生物发光和荧光发光成像系统等)

医用

光学仪器(内窥成像,生物活检成像,辐射成像等)

光谱分析

测试仪器 (激光拉曼光谱仪, FTIR光谱仪,LIBS光谱仪等)

激光粒度仪器 (基于激光和图像技术的粒度和浓度

测试仪器

光学成像仪器 (高速成像,红外热成像,X射线成像)

光谱成像系统 (包括高光谱成像,多光谱成像仪器)

燃烧和流体力学光学诊断技术和仪器 (基于激光和成像技术,融合光谱分析技术组建PIV,PLIF,温度探测,燃烧分析成像等仪器)

无损光学检测仪器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射线成像,热成像,光学内窥等仪器)

AFM, SEM,SPM等特种光学显微镜

通用

实验室仪器和设备(包含所有涉及光学技术的实验仪器)

服务和应用领域

生物光子学

生命科学

医学成像

制药

食品工程

化学和化工

 

实验室仪器实验室建设

流体力学

工程热物理

燃烧诊断分析

发动机研发

航空航天

地球物理科学

地质和石油勘探


半导体和微电子

 

 

 

 

 

先进制造

新能源

材料科学

仪器科学与技术

-------


客户群体
     
高等院校

*系统研究院所

中国国有企业及其研究院所

外资企业


高效的服务体系
总部位于上海,在上海自贸区和天津自贸区具有仓库,在香港设立贸易公司,拥有遍布全国的代理商,供应商遍布美国、德国、英国、法国、意大利、奥地利、瑞典、捷克、立陶宛、爱沙尼亚等精密仪器优势国家和地区。
公司受益于香港便捷的贸易条件以及上海自贸区和天津自贸区的高效进口程序,为客户提供高效技术仪器进口服务,为制造商提供高效出口服务。

灵活的购买方式
孚光精仪在天津和上海均有进口公司,众邦企业(天津)贸易有限公司和辅光精密仪器(上海)有限公司,具有商检,报关,进出口等高贸易资质,为客户提供优质而专业的进口服务,帮助出口商/制造商完成清关服务,并送货到用户地址。

 

外方经理定期来华办公指导                                             工作园区一角\

公司电子*门办公一角                                                   员工文化墙一角


用户的青睐和信任
我们高效的服务和质优价廉的产品赢得了广大的青睐和信赖,成为声誉*的*产品和服务供应商。国内的科研单位多次从我公司订购各种产品。如:
*上海光机所

*西安光机所

*安徽光机所

*长春光机所

*合肥物质研究院


*物理研究所

*光电研究院


*福建物质结构研究所
中国工程物理研究院
华中光电技术研究所
中国电子集团公司53

清华大学

北京大学

中国科技大学


哈尔滨工业大学
山东大学
武汉大学
南开大学

天津大学


**********

 

 

 

 

详细信息

科研型原子层沉积系统ALD系芬兰picosun公司R-200 standard原子层沉积技术,热壁设计和单独的入口,可实现无颗粒工艺,适用于晶圆,3D对象和所有纳米级特征上的多种材料。
科研型原子层沉积系统具有专有的Picoflow™技术,即使在挑战性的通孔,超高长宽比和纳米颗粒样品上也可以实现出色的均匀性。 R-200 standard原子层沉积配备了功能强大且易于更换的液态,气态和固态化学物质前体源。与手套箱,粉末室和各种原位分析系统集成,无论您现在的研究领域是什么,或以后可能成为什么样的研究领域,都可以进行高效,灵活的研究,并获得良好的结果。
科研型原子层沉积系统ALD适用于数十种应用的研发,例如IC组件,MEMS器件,显示器,LED,激光和3D对象,例如透镜,光学器件,珠宝,硬币和医疗植入物。热ALD研究工具的市场领dao者。它已成为创新驱动的公司和研究机构的shou选工具。
科研型原子层沉积系统ALD技术指标

衬底尺寸和类型50 – 200 mm /单片
zui大可沉积直径150 mm基片,竖直放置,10-25片/批次(根据工艺)
156 mm x 156 mm 太阳能硅片
3D 复杂表面衬底(使用Showerhead喷洒淋浴模式效果更佳)
粉末与颗粒(配备扩散增强器)
多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品
工艺温度50 – 500 °C, 可选更高温度(真空腔体外壁不用任何冷却方式即可保持温度低于60 °C)
基片传送选件气动升降(手动装载)
预真空室安装磁力操作机械手(Load lock )
前驱体液态、固态、气态、臭氧源
4根du立源管线,zui多加载6个前驱体源
对蒸汽压低的前驱体(1mbar~10mbar),用氮气等载气dao入前驱体瓶内引出
重量350kg
尺寸( W x H x D))取决于选件
zui小146 cm x 146 cm x 84 cm
zui大189 cm x 206 cm x 111 cm
选件PICOFLOW™扩散增强器,集成椭偏仪,QCM, RGA,N2发生器,尾气处理器,定制设计,手套箱集
成(用于惰性气体下装载)。
验收标准标准设备验收标准为 Al2O3 工艺



应用领域
客户使用PICOSUN™ R系列ALD 设备在150mm和200mm(6”和8”)晶圆上所沉积薄膜厚度均匀性数据。

材料非均匀性(1σ)
AI2O3 (batch)0.13%
SiO2 (batch)0.77%
TiO20.28%
HfO20.47%
ZnO0.94%
Ta2O51.00%
TiN1.10%
CeO21.52%
Pt3.41%



相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :