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TruPlasma Match1000 Huttinger 等离子射频电源
- 型号
- TruPlasma Match1000
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深圳市新玛科技有限公司致力于电子测试测量领域为客户提供的测试和高效的解决方案和全面的系统服务，提供通用测试产品，示波器、逻辑分析仪、信号源、交流、直流电源、数据采集器、交流、直流电子负载仪和频谱分析仪、安规测试、 电能质量分析仪以及数字万用表、功率分析仪、热成像仪、绝缘电阻测试仪。包括全套电磁兼容EMC测试和EMC整改的解决方案，专业提供电磁兼容测试系统，电磁干扰EMI抗干扰EMS诊断系统，并提供专家级的技术和咨询服务。为各个工业领域提供创新服务模式涵盖测试仪器销售、 计量校准、维修维护以及面向企业级客户端的系统集成服务，产品覆盖通信、工业电子制造、新能源、微电子、 航空航天，科研院所大学等行业， 我们严格遵循以合格的产品去服务于客户，帮助客户选择适合的解决方案。
随着中国市场越来越多的进口设备进入中国在中国每年有数量众多的技术*，价格昂贵的设备因为没有合理的配备而闲置，对于每一个面对竞争的企业来说，这种浪费是致命的，我们认为我们必须了解客户的需求，将行业内众多成熟的方案帮助中小型技术企业客户实现合理的配置同时提高产品的稳定性和可靠性，并降低产品开发成本和生产成本。
新玛通过与Agilent、Fluke、Tektronix、Pacific、HIOKI、Yokogawa、Rohde-schwarz等厂商的合作，为客户提供产品应用解决方案、计量校准、维修维护和科技资产外包管理等综合服务。
新玛通过与业务伙伴的紧密合作，凭借便捷的进货渠道和服务网络，为客户提供专业的产品选型、技术支持、现场测试等快捷的本地化服务，成为电子测试领域的综合服务商。
详细信息
Huttinger等离子体射频电源TruPlasma Match1000提供解决方案
Huttinger等离子体射频电源TruPlasma Match1000提供技术支持服务
高频电流:测量用于识别等离子体异常的高精度AC电流测量装置，于工艺流程就近安放在阻抗匹配器内，紧挨腔室。
电弧管理:是适用于等离子体工艺流程控制的理想模块。有针对性的电弧识别确保生产效率，同时保护产品与设备。
接口：Analog/Digital、PROFIBUS和EtherCAT作为可选接口提供。标配EtherNet、SystemPort和RS232/485。
等离子体工艺就像一个复杂可变的负载，必须通过发生器为其不断供电。这项工作由有源匹配网络（所谓的阻抗匹配器）来完成，确保随时匹配50Ω的最佳阻抗。由此形成协调的系统解决方案——通快RF系统。通过不同接口（如EtherCAT）可十分轻松地将发生器和阻抗匹配器集成至现有工艺环境之中，并通过发生器与阻抗匹配器的智能连接（即所谓的SystemPort）形成经优化的系统解决方案。
Huttinger霍廷格高频电源PFG 1000
霍廷格huttinger DC3030直流磁控溅射电源
凭借主振荡器可稳定和优化关键的同步等离子体过程。集成式数字频率与相位合成器确保高频率与相位稳定性，可以实现按照极小的步幅调整相位。可选择用于13.56 MHz频率以及各种频率组合的不同规格主振荡器。
复杂的图形表示实现全面管理所有相关工艺参数。负载与阻抗匹配器阻抗通过史密期圆图，含频率与相位在内的高频输入与输出功率借助实时示波器进行可视化。
