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MT3809G BROOKS 质量流量控制器 GP200系列
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经销商上海珩哲自动化设备有限公司专业采购德国,欧美系工控产品、仪表仪器和备品备件!
传感器、接近开关、编码器、PLC、光栅尺、读数头
控制模块、继电器、总线模块、电极、电容
隔离放大器、变送器、逆变器、变频器、总线模块、电极、电容
流量开关、流量计、液位计、伺服阀、泵阀、滤芯、密封圈、过滤器
电机、传动轴、轴承、夹具、轴套、接头、刹车片
绝缘检测仪、远程报警器、水质分析表,数据采集器、温控仪
BROOKS 质量流量控制器 GP200系列
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BROOKS 质量流量控制器 GP200系列
美国Brooks Instruments(布鲁克斯)作为EMERSON(艾默生)旗下的一子公司,专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验,Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术(压力控制器、压力表、压力变送器等)。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
美国BROOKS流量控制器产品范围:
美国BROOKS流量计、BROOKS质量流量计、BROOKS流量控制器、BROOKS压力控制器、BROOKS、BROOKS压力传感器、BROOKS压力表、BROOKS压力调节器、BROOKS压力变送器、BROOKS压力显示器
美国BROOKS流量控制器主要型号:
GCS400系列、3600系列、1100系列、BM01/02、BMO4/50、SLA7810/20、SLA5810/20、SLA5840、SLA7840、5866E、5866M、LR056、S122、C122、F122、8601、SFP33WA、SFP33CA、SFP32WA、SFP32CA、MT3809G、MT3809E、MT3819、MT3810、5882/92、CCB311、GT1000
公司简介:
上海珩哲自动化设备有限公司专业采购德国,欧美系工控产品、仪表仪器和备品备件!
传感器、接近开关、编码器、PLC、光栅尺、读数头
控制模块、继电器、总线模块、电极、电容
隔离放大器、变送器、逆变器、变频器、总线模块、电极、电容
流量开关、流量计、液位计、伺服阀、泵阀、滤芯、密封圈、过滤器
电机、传动轴、轴承、夹具、轴套、接头、刹车片
绝缘检测仪、远程报警器、水质分析表,数据采集器、温控仪
主营产品:传感器、接近开关、编码器、PLC、光栅尺、读数头、控制模块、继电器、总线模块、电极、电容
主打产品词:传感器,阀门,开关,泵,编码器,继电器,接头,电机,滤芯,轴承,电线电缆,联轴器,控制器,备件,电源,夹具,气缸,过滤器,制动器,模块
公司简介:
上海珩哲自动化设备有限公司成立于2018年,专业从事欧美工控自动化产品经营与销售,公司由自动化行业老员工组成,拥有丰富的采购与销售经验。
上海珩哲自动化设备有限公司,经历多年磨练,专业团队,用心服务,已成为众多国外及中国本土众多企业的重要合作伙伴。我司主要做液压、电气、工控、气动等。专业代理众多产品,以工业自动化为主营,集科工贸于一体的全民科研开发,技术改造,工程服务为中心。
历经多年与世界著名的多家进口产品维护服务提供商建立了紧密的合作关系,北美、欧洲、亚洲您都能看到我们的身影。我们售出的产品提供专业的质量保证,并且都经过了严格的测试和认证。
我司于2018年在德国法兰克福开设了德国分公司,经营3年后,开发了一系列特别有优势品牌,WIKA(威卡)SIBA(西霸)KSR KUBLER KUBLER(库伯勒)D+P NSD(货值4万以上)COREMO(科瑞盟)SIBRE(西伯瑞)GEMU(盖米)ABB(电容,分析仪)TR(帝尔) IPR ,ANYBUIS,P+F(倍加福)也经营其他欧洲品牌,有经常做欧洲进口设备的可以联系我,报价率高。可以合作成为长期供应商。
公司主要经营欧美自动化领域的欧洲进口设备,产品涉及各类传感器,编码器,泵,阀,仪器仪表以及各类液压元气件等自动化产品,服务于汽车、钢铁、清洁能源、核电、港口等重点行业板块。
我司提供的产品品种齐全,品质*,价格合理,交货及时。公司完善的技术查询系统及专业的技术人员,保证了客户能在zui短时间内得到最迅速、最准确的价格回复;畅通、稳定的供货系统,保证了更全面的备件种类、更短的交货周期以及更的产品价格。
上海珩哲自动化设备有限公司主要服务汽车、钢铁、石化、造纸、包装、电力、船舶、采矿、食品、饲料等行业。并与这些行业部分大型企业建立直接或间接的合作模式。同时,随着业务的发展迅速,公司与国内数家工厂达成*合作协议,价格优势更明显。
公司理念:诚信为本,高效协作,用心服务,创新至上
宣传口号:致力于打造全球工业领域采购与销售一站式服务平台
企业文化:狼性文化(敏锐嗅觉,不屈不挠,团队奋斗)
公司优势产品
公司推荐品牌:
DOPAG(德派):一般是做阀类产品,型号类型:401.50.06,40002.64。
HENGSTLER(亨氏乐)
ROEMHELD(罗姆西德):气缸,夹紧元件
ANYBUS:做网关,模块类的产品,型号都是AB7006此类的
BEI:都是做编码器,
FRONIUS(福尼斯):做电焊机,拉丝机入一般车企用的比较多
LORENZ(劳伦茨):做力传感器,扭矩传感器
Brooks(布鲁克斯):做流量计,流量控制器
HANOVIA(海诺威):公司主做等紫外线灯管
D+P:做传感器的
LASE:激光传感器,激光测距仪
COREMO(科锐盟):做制动器的
Kubler(库伯勒):做编码器,含有 S的型号不做
BURSTER:做传感器的
KSR KUBLER (柯普乐):液位传感器,液位计
PROCENTEC(博森泰克):做中继器的,B5,钢厂会用到此类产品,这款型号特别注意,国外有现货。
IBSO:做控制面板的,
COMET:射线管,货值高
SIBA(西霸):做熔断器的
EMG:液压推杆EDEB公司价格优势大
BAUMER(宝盟):做编码器的
HAFFMANS (哈夫曼) 啤酒检测设备
FILTRoX (菲托)过滤系统设备
BROOKS 质量流量控制器 GP200系列简介
所有的表现。没有任何限制。
GP200 系列是第一款不敏感的基于压力的质量流量控制器 (P-MFC),专为半导体制造中的先进蚀刻和沉积工艺而设计。
GP200 系列 P-MFC 采用技术架构,克服了传统 P-MFC 的局限性,即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供工艺气体输送。它包括几个设计方面,包括与下游阀门架构相结合的集成压差传感器,可在行业中操作条件下实现的工艺气体输送。
由于 GP200 系列支持如此广泛的工艺条件,它可以用作许多传统 P-MFC 和热 MFC 的直接替代和升级。它降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本,因为它消除了对压力调节器和传感器等组件的需求。
特征
真正的差压测量
降低入口压力运行
下游阀门结构
匹配的瞬态响应
零泄漏控制阀
MultiFlo TM技术提供了灵活性——一个设备可以针对数千种不同的气体和流量范围配置进行编程,而无需从气体管线中移除 MFC 或影响精度
本地显示显示流量、温度、压力和网络地址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模拟接口
好处
通过消除匹配和补偿两个独立压力传感器的要求,GP200 差压技术降低了测量不确定性,从而提高了准确性、可重复性和漂移性能。
由于专为低压差测量而优化的 GP200 差压传感器,现在使用 P-MFC 可以在较低的入口压力下实现更安全的晶圆厂操作。
下游阀门结构确保精度独立于下游压力,使流量输送到高达 1200 Torr 的压力。快速关闭阀门解决了上游 MFC 阀门设计中出现的非生产性配方等待时间或“尾部效应”,这些阀门需要额外的时间来排出其内部气体体积。
超快、高度可重复的上升和下降流动稳定时间可在先进的高循环沉积和蚀刻工艺中实现更严格的工艺控制。
阀门关闭性能提高 100 倍
使用 MultiFlo TM,MFC 满量程流量范围通常可以按 3:1 的系数重新按比例缩小,而不会影响精度、量程比或规格泄漏,以实现最佳工艺和库存灵活性
方便的用户显示和独立的诊断/服务端口有助于设备安装、监控和故障排除
主要应用
半导体制造
蚀刻
化学气相沉积 (CVD)
需要高纯度全金属流路的气流控制应用
BROOKS布鲁克斯气体质量流量计控制器
BROOKS 5850E参数:
·型 号: BROOKS 5850E
·量 程: 3sccm-1000SLPM
·测 量 精 度: 满量程的1%
·控 制 范 围: 50:1
·反 应 时 间: 2s
·输入输出信号: 0-5V
·电 源: ±15V
·零点 稳定 性: 每年变动小于满量程的±0.2%
·工作温度范围: 5~65℃(41~149℉)
·工作压力范围: 0-1500 psi/0-100 bar
·压差控制范围: 5-50psi/0.35-3.45bar
·漏率(外部): 1x10-9 atm. cc/sec He
·阀 门 类 型: 常开、常闭、仪表
·密 封 材 料: 316L不锈钢、高合金不锈钢、Viton® 氟橡胶、Buna-N、Kalrez 和 Teflon
·电 气 连 接: 15 针公接头 Sub D 型连接器 (DA-15P) 或 Card Edge 连接器(仅控制器型号)
BROOKS布鲁克斯气体质量流量计控制器
BROOKS优点:
先进的热式流量测量传感器:
优异的信躁比性能,可在低设定值下获得高精度
通过改进传感器制造和烧机测试工艺获得良好的长期稳定性
恒温封装可降低对外部温度变化的敏感性
宽流量范围:
5800系列流量范围及其广,5850具有低至3sccm的满量程流量。借助 50:1 的高调节比,可重复测量或控制 0.06 sccm 流量的气体!5853 型可监测或控制高达1000 Slpm 的气体流量。
快速响应性能:
5800 系列的电子器件和优异的机械配置确保快速、稳定的响应特性。
供应美国Brooks流量计控制器
Benshaw产品具有先进的电机控制和保护功能,易于使用的界面,出色的输入/输出灵活性以及所有主要通信协议的连接性。所有Benshaw设施均通过了ISO 9001认
Brooks产品:
流量计、气体质量流量计、控制器
应用领域:
半导体机台自动化、一般真空应用、显示屏制造、生命科学、样品管理、LED
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计产品特点
美国BROOKS布鲁克斯流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品美国BROOKS布鲁克斯流量计与传统的体积流量仪器截然不同,BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量,不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外,所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容,安装简便。
美国BROOKS布鲁克斯流量计 BROOKS布鲁克斯质量流量计 BROOKS布鲁克斯转子流量计 BROOKS布鲁克斯浮子流量计 BROOKS布鲁克斯质量流量控制器/计 压力控制器 BROOKS压力变送器 BROOKSLC椭圆齿轮流量计 273定量控制阀 3809流量计 FCA8900流量控制器 BROOKS1350浮子流量计 BROOKS1355浮子流量计 HT50金属浮子流量计 LCG(B)椭圆齿轮流量计 LBR(A)BROOKS双转子流量计 BROOKSLW涡轮流量计 GCG(B)BROOKS过滤器 SLA5861 /5860/ 5853/5850/ 5850流量计 厂价源头直销
布鲁克斯仪器创始于1946年。总部位于美国宾夕法尼亚州。布鲁克斯仪器在工业仪表行业中位列*。2008年,曾作为500强及工业控制排名*的艾默生(Emerson)集团创始公司之一的布鲁克斯仪器从艾默生公司中独立出来。公司现在超过15个国家和地区拥有分支机构和办事处。我们研制、生产并销售高性能的流量仪表仪器,广泛应用于医药、采炼油、化工、医疗、分析仪器、半导体制造等等行业,以满足这些行业日益增长的对工业仪表的精益求精的需求。我们通过对顾客需求的独到见解,在业务网络中为客户提供便捷迅速的解决方案及集成应用。布鲁克斯的成就来源于我们在行业中逾60年的。
部分产品型号系列:
美国BROOKSLC椭圆齿轮流量计
273定量控制阀
3809流量计 美国BROOKS流量计
FCA8900流量控制器 美国BROOKS流量计
美国BROOKS流量计
BROOKS1350浮子流量计
美国BROOKS流量计BROOKS1355浮子流量计
美国BROOKS流量计HT50金属浮子流量计
美国BROOKS流量计LCG(B)椭圆齿轮流量计
LBR(A)双转子流量计
LW涡轮流量计
GCG(B)过滤器
美国BROOKS流量计SLA5861 /5860/ 5853/5850/ 5850流量计
数模橡胶密封;
美国BROOKS流量计流量范围:100-2500 slpm;
美国BROOKS流量计精度:±1.0% of rate(20%-100% FS);
±0.2% FS(<20% FS);,
±1.0%F.S.(>1100 slpm)
MT3819金属管特氟龙转子流量计 MT3750C转子流量计
Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验,Brooks公司不断推出各种科里奥利质量流量、热式质量流量、变截面流量计以及压力控制技术(压力控制器、压力表、压力变送器等),旨在全面改进您的关键工艺。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。