起订量:
SPM300 半导体参数测试仪
高级会员第15年
代理商先锋科技是国内的光电产品系统集成商之一,总部位于香港。目前拥有员工30余人,销售工程师及技术服务工程师全部具有相关专业的大学本科及以上学历。凭借在光电领域前沿的不断探索,公司不仅为用户提供国外原厂生产的各类标准产品,而且致力于根据用户的具体要求,提供完整的系统解决方案,包括设计、生产、集成和二次开发等。
公司一直持续关注光电类前沿的技术产品,从初期只与有限几个品牌有业务关系,发展到现在与几十家欧美公司长期密切合作。公司提供的产品,其涵盖面也从初的光谱仪器单一类别,发展到现在的成像产品、各种激光器、激光测试、太赫兹、光度色度测试、光电元器件、光学元件、精密光学机械运动控制等几乎所有光电行业产品系列。公司实行不同产品系列团队负责制,力争将销售和技术岗位的工程师都培养成为各自负责产品类别的人才,实实在在地让客户体会到专业团队的专业服务!
公司拥有一支具备专业知识的销售工程师团队,并始终要求相关团队成员,在销售过程中从各个领域内的用户处时刻更新自己的知识内容,保持对各应用领域内新研究内容的了解,从而能够结合仪器设备的技术特点,按照广大用户的不同应用要求,提供准确、先进的各种仪器解决方案。
公司的技术服务工程师积累了丰富的仪器安装、调试及故障解决经验,并不断结合科研生产仪器设备的新技术新发展及用户的要求,努力完善售后服务体系,力争做到在尽可能短的时间内为用户提供迅速有效的技术响应,使用户的各种技术服务要求尽量得到满足。针对主营产品和业务,公司每年定期安排技术服务工程师参加各类技术培训,购买相应的零配件,力争做到绝大部分的主流产品维修本地化,免除由于路程往返造成的时间、费用和工作效率上的损失。
公司商务部门的贸易专员,每年均要处理大量的贸易合同。公司商务团队,以其丰富贸易经验,努力协调公司内外以及公司内部各部门的行动,力争让用户在更短的时间内收到订购的仪器,享受到相应的服务。
全体员工努力工作的目标是:把公司建设成为一个光电行业系统集成业务市场中,先锋科技衷心希望得到新老客户一如既往的支持!
基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪,具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析,空间分辨率< 800nm (典型值),也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件,可对数据进行拟合计算,直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定,重复性好,可用于实验室检验或者产线监测。
① 光路接口盒:
内置常用激光器及激光片组,拓展激光器包含自由光及单模光纤输入;
② 光路转向控制:
光路转向控制可向下或向左,与原子力、低温、探针台等设备连用,可升级振镜选项
③ 明视场相机:
明视场相机代替目镜
④ 显微镜:
正置科研级金相显微镜,标配落射式明暗场照明,其它照明方式可升级
⑤ 电动位移台:
75mm*50mm 行程高精度电动载物台,1μm 定位精度
⑥ 光纤共聚焦耦合:
光纤共聚焦耦合为可选项,提高空间分辨率
⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合:
标配CCD- 狭缝耦合方式,可使用光谱仪成像模式,高光通量
⑧ 光谱CCD:
背照式深耗尽型光谱CCD相机, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%
⑨ 320mm 光谱仪:
F/4.2高光通量影像校正光谱仪, 1*10-5 杂散光抑制比
SPM300 半导体参数测试仪主要应用
选型表
型号 | 描述 |
SPM300-mini | 基础款半导体参数分析仪,只含一路532nm 激光器,常规正置显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台 |
SPM300-SMS532 | 多功能型半导体参数分析仪,含532nm 激光器,常规正置显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台, 可升级耦合最多4 路激光器 |
SPM300-OM532 | 开放式半导体参数测试仪,含532nm 激光器,定制开放式显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台, 可升级耦合最多4 路激光器 |
系统参数
项目 | 详细技术规格 |
光源 | 标配532nm,100mW 激光器,其他激光可选,最多耦合4 路激光,可电动切换,功率可调节 |
光谱仪 | 320mm 焦距影像校正光谱仪,光谱范围90-9000cm-1, |
光谱分辨率 | 2cm-1 |
空间分辨率 | <1μm |
样品扫描范围 | 标配75mm*50mm,最大300mm*300mm |
显微镜 | 正置显微镜,明场或者暗场观察,带10X,50X,100X 三颗物镜;开放式显微镜可选 |
载流子浓度分析 | 测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3,重复性误差<5% |
应力测试 | 可直观给出应力属性(拉力/ 张力),针对特种样品,可直接计算应力大小,应力均匀性分析 (需额外配置电动位移台), 应力解析精度0.002cm-1 |
晶化率测试 | 可自动分峰,自动拟合,自动计算出晶化率,并且自动计算晶粒大小和应力大小 |
测试案例举例