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飞秒微加工系统
北京卓立汉光仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高*技术企业。卓立汉光自1999年起,通过数年的不断努力,成长为光电仪器厂商之一。目前公司的电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化,国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。2000年推出我司套量产型三光栅光谱仪后,不断推出了多套荧光、拉曼、光电探测器光谱响应、太阳能电池检测等光谱测量系统,广泛应用在众多高校和科研院所的研究与试验,为国家科技创新贡献了一份力量,产品凭借优良的品质远销欧美、东南亚等海外市场。 2005年10月在同行业中通过ISO9001质量管理体系SGS认证。2010年取得国家高*技术企业认定,2016年卓立汉光技术中心顺利通过市级技术中心评审。
卓立汉光主要生产经营:荧光/拉曼光谱系统、各类光谱测量系统、太阳能电池检测仪器、光栅光谱仪、各类型光源及探测器、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。
我们诚心聆听用户的需要与批评,作为不断改进的动力,能让您满意卓立汉光的产品及服务,就是我们的成就。因此我们以卓立汉光的光机产品提供 “终身保固”的承诺,来表达我们对产品的信心。
我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好*质量保证,就是要让您 “付有所值”,以合理的价位得到优质的产品,这是我们对您选择卓立汉光真诚的回报。
卓立汉光始终以满足用户需求为宗旨,分别于上海、深圳、成都、西安设立分公司,为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、快速反应、优质服务” 是我们的经营理念, 公司长期重视优质高效、短时间为客户开发产品及提供技术支持。卓立汉光真诚地希望与国内外同仁携手合作,为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。
飞秒微加工系统方案
激光的发明加快了人类文明的进步。激光以其高相干性,高能量等特点,使其已经广泛应用于人类生活的各个领域,例如激光焊接,激光测距,激光雷达等等。其中激光加工也是一个重要领域。传统的激光加工一般使用纳秒量级脉冲激光或是像CO2激光(10.6um)这样的强激光,随着飞秒激光的逐渐普及,使用成本逐渐降低,使用飞秒激光作为加工光源也越来越受到关注。
飞秒激光加工的特点主要有:
1,飞秒激光脉冲与材料相互作用时间在一个非常短的时间(飞秒量级),因此可以实现材料的冷加工,
2,飞秒激光可以聚焦到透明材料的内部,实现真正的三维微加工,
3,超快激光可以使材料发生多光子吸收,可以突破光学衍射极限进行加工,
飞秒微加工的研究领域:
可用于飞秒3D打印,双光子聚合等加工技术。
可用于切割,打孔,烧蚀,表面微结构等加工技术。由于飞秒激光持续时间很短,可以在易碎易燃材料上获得高质量的烧蚀形貌
用于材料的内部改性处理。例如用飞秒激光在玻璃内部进行光波导直写,光存储以及新相材料的制作
飞秒激光直写加工系统一般根据制作方式可分为基于扫描振镜方式和基于样品位移台两种。扫描振镜的方式其优点在于加工精度很高,但是加工的范围有限
基于样品位移台的则可以分为:1,使用高质量三维压电位移台,可以获得亚纳米级别的精度,范围可以到几百微米。2,使用高质量的电机驱动的直线气浮平台。其优点在于移动范围可以达到几厘米。
卓立汉光基于多年的显微拉曼荧光系统,结合高功率飞秒激光,推出飞秒激光直写加工系统!
图1:飞秒加工直写系统简图
图2:显微系统简图
飞秒激光推荐方案:
激光器中心波长:1030nm,
输出功率: >=20W@ 50-200KHZ, >400uJ@1-50KHz,
一体化免维护设计;
三维位移台推荐方案:
室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学,半导体表征
⼤范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um;
• 闭环定位精度优于 1nm;
• 最⼤负载 500 g;
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案;
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
可选版本 ⇨ | 正常版本 |
.NM 绝对⽆磁版本; .HV, ⾼真空版本 ; .UHV ,超⾼真空版本; | |
1 底⾯尺⼨*⾼度 | 180 mm × 150 mm × 20 mm |
2 主体材料 | 铝合⾦ |
3 中空透孔 | 80 mm × 60 mm |
4 运动⾏程 | 200 um × 200 um |
5 闭环分辨率 | 优于1nm |
6 推荐最⼤负载 | 500 g |
7 闭环传感器 | 电容式 |
8 电容精度 | 0.3 nm |
9 压电电容(X, Y) | 6.5 uF |
15 到 40 摄⽒度 | |
10 推荐使⽤温度 | |
11 质量 | 1 kg |
12 安装 | 螺纹孔⾃动兼容 Carrier.L7550.XY |