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PLUTO-160 等离子体表面处理仪/清洗机

型号
PLUTO-160
参数
产地类别:国产 功率:1000W 价格区间:30万-50万 控制方式:自动 气路:2 射频频率:13.56MHzGhz 样品腔材质:不锈钢 样品腔尺寸:51.8*51.8*64.8cm 样品腔容积:170L 应用领域:化工,生物产业,电子,制药,综合
上海沛沅仪器设备有限公司

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PLUTO-80等离子清洗机/表面处理系统

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等离子清洗机,真空等离子清洗机,等离子去胶机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,实验室等离子清洗机,小型等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子镀膜机

上海沛沅仪器是一家集等离子体技术设计、制造、产品开发、销售与服务于一体的技术型企业,公司致力于提供专业的等离子表面处理系统,比如等离子清洗机,等离子去胶机,等离子刻蚀机,实验室等离子处理机等,向用户提供国内等离子表面处理设备和优质专业的服务。

公司技术团队67%以上具备硕士或硕士以上学位,公司由长期从事等离子体应用技术研究开发、多次参与国家重大科学工程研究的专家和产业化专家联合创建,提供一系列等离子体表面处理系统、等离子体刻蚀系统、常压等离子清洗设备等,并与中科院上海应用物理研究所,复旦大学,中国科技大学,上海科技大学,上海交通大学等建立了密切的技术合作交流关系。

 

公司的愿景是成为等离子体应用领域的优质供应企业,用科研的沉淀和应用的创新,为中国的制造业崛起和化战略贡献一份力量。

 

 

 

 

详细信息

  PLUTO-160等离子体表面处理仪/清洗机产品特点:
 
  •   13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性与可重复性
 
  •   灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案,确保大批量处理的均匀性
 
  •   PLC与工控机提供稳定的过程控制,设备运行的实时参数通过显示屏直观呈现
 
  •    系统稳定可靠,易于保养与维护
 
  标准腔体电极为平行板电极结构,通过改变电极配置(RF电极、地电极、悬浮电极等)可以获得不同的工艺效果
 
  最多支持扩展至8片电极
 
  每对电极间为独立空间
 
  批处理电极改变了标准的平行板电极结构
 
  通过优化的电场和进气设计实现对magazi和boat等载具内产品的均匀处理。
 
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PLUTO-160等离子体表面处理仪/清洗机应用:

  
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         •  表面清洁与活化
 
  •  表面有机污染物与金属氧化物的去除
 
  •  增强表面胶体流动性,消除涂层分层
 
  •  提升表面能,实现难粘材料的有效结合
 
  •  表面粗化及微刻蚀
 
  •  纳米级表面粗化,应力释放
 
  •  光刻胶、残胶的去除
 
  •  对多种材料的选择性刻蚀

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产品参数

产地类别 国产
功率 1000W
价格区间 30万-50万
控制方式 自动
气路 2
射频频率 13.56MHzGhz
样品腔材质 不锈钢
样品腔尺寸 51.8*51.8*64.8cm
样品腔容积 170L
应用领域 化工,生物产业,电子,制药,综合
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
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