X 轴测量范围 (mm) | 100 | 100 | 100 | 100 | 200 | 200 | 200 | 200 |
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测量范围 Z1 轴表面粗糙度 (µm) | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 | 800,80,8 |
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分辨率 X 轴 (µm) | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
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分辨率 Z1 轴表面粗糙度 (µm) | 0.01(800 微米)、0.001(80 微米)、0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米)、0.001(80 微米)、0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米)、0.001(80 微米)、0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米)、0.001(80 微米)、0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米)、0.001(80 微米)、0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米)、0.001(80 微米)、0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米)、0.001(80 微米)、0.0001(8 微米) | 0.01(800 微米)、0.001(80 微米)、0.0001(8 微米) |
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分辨率 Z2 轴 (µm) | 1个 | 1个 | 1个 | 1个 | 1个 | 1个 | 1个 | 1个 |
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测量方向 表面粗糙度 | 牵引方向 | 牵引方向 | 牵引方向 | 牵引方向 | 牵引方向 | 牵引方向 | 牵引方向 | 牵引方向 |
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测量面方向 表面粗糙度 | 在指导下 | 在指导下 | 在指导下 | 在指导下 | 在指导下 | 在指导下 | 在指导下 | 在指导下 |
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测量速度 X 轴表面粗糙度 (mm/s) | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 |
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X轴驱动速度(mm/s) | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 | 0~40 |
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驱动速度 CNC 模式 X 轴 (mm/s) | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 | 0~80 |
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测量范围 Z1 轴轮廓形状 (mm) | 60(水平±30) | 60(水平±30) | 60(水平±30) | 60(水平±30) | 60(水平±30) | 60(水平±30) | 60(水平±30) | 60(水平±30) |
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分辨率 Z1 轴轮廓形状 (µm) | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 |
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测量速度 X轴轮廓形状(mm/s) | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 | 0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30 |
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测量方向 轮廓形状 | 推拉两个方向 | 推拉两个方向 | 推拉两个方向 | 推拉两个方向 | 推拉两个方向 | 推拉两个方向 | 推拉两个方向 | 推拉两个方向 |
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测量面方向轮廓形状 | 上下 | 上下 | 上下 | 上下 | 上下 | 上下 | 上下 | 上下 |
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Z2轴驱动速度(mm/s) | 软件:0 到 30,远程盒子操作:0 到 30 | 软件:0 到 30,远程盒子操作:0 到 30 | 软件:0 到 30,远程盒子操作:0 到 30 | 软件:0 到 30,远程盒子操作:0 到 30 | 软件:0 到 30,远程盒子操作:0 到 30 | 软件:0 到 30,远程盒子操作:0 到 30 | 软件:0 到 30,远程盒子操作:0 到 30 | 软件:0 到 30,远程盒子操作:0 到 30 |
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直线度精度 X轴 表面粗糙度 | (0.05 + 0.001L) μm L = 驱动长度 (mm) | (0.05 + 0.001L) μm L = 驱动长度 (mm) | (0.05 + 0.001L) μm L = 驱动长度 (mm) | (0.05 + 0.001L) μm L = 驱动长度 (mm) | (0.1 + 0.002L) μm L = 驱动长度 (mm) | (0.1 + 0.002L) μm L = 驱动长度 (mm) | (0.1 + 0.002L) μm L = 驱动长度 (mm) | (0.1 + 0.002L) μm L = 驱动长度 (mm) |
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直线度精度 X轴轮廓形状 | 0.8μm / 100mm | 0.8μm / 100mm | 0.8μm / 100mm | 0.8μm / 100mm | 2 微米 / 200 毫米 | 2 微米 / 200 毫米 | 2 微米 / 200 毫米 | 2 微米 / 200 毫米 |
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示值精度 X轴轮廓形状 | ±(0.8+0.01L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8 μm / 100 mm 窄范围:1.05 μm / 25 mm | ±(0.8+0.01L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8 μm / 100 mm 窄范围:1.05 μm / 25 mm | ±(0.8+0.01L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8 μm / 100 mm 窄范围:1.05 μm / 25 mm | ±(0.8+0.01L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8 μm / 100 mm 窄范围:1.05 μm / 25 mm | ±(0.8+0.015L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:3.8 μm / 200 mm 窄范围:1.2 μm / 25 mm | ±(0.8+0.015L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:3.8 μm / 200 mm 窄范围:1.2 μm / 25 mm | ±(0.8+0.015L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:3.8 μm / 200 mm 窄范围:1.2 μm / 25 mm | ±(0.8+0.015L) μm L=驱动长度(mm) 宽范围:3.8 μm / 200 mm 窄范围:1.2 μm / 25 mm |
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示值精度 Z1轴轮廓形状 | ±(0.8+|2H|/100) μm H=距水平位置的测量高度(mm) | ±(0.8+|2H|/100) μm H=距水平位置的测量高度(mm) | ±(0.8+|2H|/100) μm H=距水平位置的测量高度(mm) | ±(0.8+|2H|/100) μm H=距水平位置的测量高度(mm) | ±(0.8+|2H|/100) μm H=距水平位置的测量高度(mm) | ±(0.8+|2H|/100) μm H=距水平位置的测量高度(mm) | ±(0.8+|2H|/100) μm H=距水平位置的测量高度(mm) | ±(0.8+|2H|/100) μm H=距水平位置的测量高度(mm) |
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测量力 表面粗糙度 (mN) | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.75 |
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测量单位 X 轴 | 光学反射式线性编码器 | 光学反射式线性编码器 | 光学反射式线性编码器 | 光学反射式线性编码器 | 光学反射式线性编码器 | 光学反射式线性编码器 | 光学反射式线性编码器 | 光学反射式线性编码器 |
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测量单元 Z2 轴 | 电磁感应式绝对式线性编码器 | 电磁感应式绝对式线性编码器 | 电磁感应式绝对式线性编码器 | 电磁感应式绝对式线性编码器 | 电磁感应式绝对式线性编码器 | 电磁感应式绝对式线性编码器 | 电磁感应式绝对式线性编码器 | 电磁感应式绝对式线性编码器 |
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X轴倾角(°) | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 | ±45 |
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测量单元 Z1 轴 | 微分电感,弧度 | 微分电感,弧度 | 微分电感,弧度 | 微分电感,弧度 | 微分电感,弧度 | 微分电感,弧度 | 微分电感,弧度 | 微分电感,弧度 |
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笔尖垂直移动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 | 圆弧运动 |
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跟随角爬升(°) | 74 | 74 | 74 | 74 | 74 | 74 | 74 | 74 |
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向下随动角(°) | 72 | 72 | 72 | 72 | 72 | 72 | 72 | 72 |
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测力轮廓形状(mN) | 10,20,30,40,50 | 10,20,30,40,50 | 10,20,30,40,50 | 10,20,30,40,50 | 10,20,30,40,50 | 10,20,30,40,50 | 10,20,30,40,50 | 10,20,30,40,50 |
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行程限制功能 | 范围:-29 mm 至 +29 mm 定位精度范围:±1 mm | 范围:-29 mm 至 +29 mm 定位精度范围:±1 mm | 范围:-29 mm 至 +29 mm 定位精度范围:±1 mm | 范围:-29 mm 至 +29 mm 定位精度范围:±1 mm | 范围:-29 mm 至 +29 mm 定位精度范围:±1 mm | 范围:-29 mm 至 +29 mm 定位精度范围:±1 mm | 范围:-29 mm 至 +29 mm 定位精度范围:±1 mm | 范围:-29 mm 至 +29 mm 定位精度范围:±1 mm |
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通讯接口 | USB | USB | USB | USB | USB | USB | USB | USB |
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测针材料 表面粗糙度 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 | 钻石 |
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基材 | 辉长岩 | 辉长岩 | 辉长岩 | 辉长岩 | 辉长岩 | 辉长岩 | 辉长岩 | 辉长岩 |
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精度保证温度范围 (°C) | 19-21 | 19-21 | 19-21 | 19-21 | 19-21 | 19-21 | 19-21 | 19-21 |
---|
精度保证温度梯度 (°C/h) | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 | 2.0/8 |
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储存环境温度范围(℃) | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 | -10~50 |
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存储环境湿度范围(非冷凝)(%RH) | 5 至 90(无结露) | 5 至 90(无结露) | 5 至 90(无结露) | 5 至 90(无结露) | 5 至 90(无结露) | 5 至 90(无结露) | 5 至 90(无结露) | 5 至 90(无结露) |
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工作环境温度范围(°C) | 5至40(校准和测量期间的温度变化在±1°C以内) | 5至40(校准和测量期间的温度变化在±1°C以内) | 5至40(校准和测量期间的温度变化在±1°C以内) | 5至40(校准和测量期间的温度变化在±1°C以内) | 5至40(校准和测量期间的温度变化在±1°C以内) | 5至40(校准和测量期间的温度变化在±1°C以内) | 5至40(校准和测量期间的温度变化在±1°C以内) | 5至40(校准和测量期间的温度变化在±1°C以内) |
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工作环境湿度范围(非凝结)(%RH) | 20 至 80(无结露) | 20 至 80(无结露) | 20 至 80(无结露) | 20 至 80(无结露) | 20 至 80(无结露) | 20 至 80(无结露) | 20 至 80(无结露) | 20 至 80(无结露) |
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底座尺寸(毫米) | 600×450 | 600×450 | 1000×450 | 1000×450 | 600×450 | 600×450 | 1000×450 | 1000×450 |
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遥控盒 (mm) | W248×D102×H62 | W248×D102×H62 | W248×D102×H62 | W248×D102×H62 | W248×D102×H62 | W248×D102×H62 | W248×D102×H62 | W248×D102×H62 |
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遥控盒质量(kg) | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 |
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身体(毫米) | W759×D482×H966 | W759×D482×H1166 | W1159×D482×H1176 | W1159×D492×H1430 | W769×D482×H966 | W769×D482×H1166 | W1169×D482×H1176 | W1169×D492×H1430 |
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体重(公斤) | 140 | 150 | 220 | 270 | 140 | 150 | 220 | 270 |
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电源 | 100-120V, 200-240V ±10%, AC50/60Hz | 100-120V, 200-240V ±10%, AC50/60Hz | 100-120V, 200-240V ±10%, AC50/60Hz | 100-120V, 200-240V ±10%, AC50/60Hz | 100-120V, 200-240V ±10%, AC50/60Hz | 100-120V, 200-240V ±10%, AC50/60Hz | 100-120V, 200-240V ±10%, AC50/60Hz | 100-120V, 200-240V ±10%, AC50/60Hz |
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能量消耗 | 400W | 400W | 400W | 400W | 400W | 400W | 400W | 400W |
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其他的 | Z2轴(立柱)移动范围:300mm | Z2轴(立柱)移动范围:500mm | Z2轴(立柱)移动范围:500mm | Z2轴(立柱)移动范围:700mm | Z2轴(立柱)移动范围:300mm | Z2轴(立柱)移动范围:500mm | Z2轴(立柱)移动范围:500mm | Z2轴(立柱)移动范围:700mm |
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