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SUS316L 日本yako-sangyo 半导体气体扩散器
- 型号
- SUS316L
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详细信息
日本yako-sangyo 半导体气体扩散器SUS316L
气体扩散器是主要防止负载锁定室向大气开放时晶圆等受到污染、缩短排气循环时间、提高系统吞吐量的扩散器。
・元件部分SUS316L
・也可用于高温应用。
・尺寸紧凑，可靠性高，可承受冲击和振动。
气体扩散器概述
1.流量范围广，从 6 到 300 SLPM。
2.与高纯度半导体气体兼容。
3.3 纳米颗粒过滤功能可保持高流动效率，同时最大限度地减少压降。
4.5Ra 电解抛光表面可防止内部污染。
5.为了满足半导体工艺标准，我们在用去离子水清洗后用高温氮气进行烘烤。
日本yako-sangyo 半导体气体扩散器SUS316L
气体扩散器是主要防止负载锁定室向大气开放时晶圆等受到污染、缩短排气循环时间、提高系统吞吐量的扩散器。
・元件部分SUS316L
・也可用于高温应用。
・尺寸紧凑，可靠性高，可承受冲击和振动。
气体扩散器概述
1.流量范围广，从 6 到 300 SLPM。
2.与高纯度半导体气体兼容。
3.3 纳米颗粒过滤功能可保持高流动效率，同时最大限度地减少压降。
4.5Ra 电解抛光表面可防止内部污染。
5.为了满足半导体工艺标准，我们在用去离子水清洗后用高温氮气进行烘烤。
