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SENpro 光谱椭偏仪

型号
SENpro
参数
产地类别:国产 应用领域:环保,化工,电子
北京瑞科中仪科技有限公司

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半导体材料分析,材料刻蚀

北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!

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详细信息

光谱椭偏仪

成本效益

SENpro是具成本效益的光谱椭偏仪,同时不影响先进测量性能。

可变入射角

光谱椭偏仪SENpro包括可变入射角的角度计,40°—90°,步进值5°,用于优化椭偏测量。

步进扫描分析器

SENpro具有步进扫描分析器。在数据采集过程中,偏振器和补偿器固定,以提供高的椭偏测量精度。


光谱椭偏仪SENpro具有操作简单,测量速度快,能对不同入射角的椭偏测量数据进行组合分析等特点。光谱范围为370到1050 nm。SENpro的光谱范围与精密的SpectraRay/4软件相结合,可以轻易地确定单层膜和复合层叠膜的厚度和折射率。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可见光到近红外椭偏仪光学,5°步进角度计,样品台、激光准直器、光纤耦合稳定光源和探测器单元。SENpro配备了用于系统控制和数据分析的光谱椭偏仪软件SpectraRay/4 ,用于包括建模,拟合和报告输出。即使对于初学者,该程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持计算机控制的用于均匀性测量的自动扫描。

SENpro专注于薄膜测量的速度和精度,不管是何种薄膜应用。测量范围从1 nm的薄层膜到15 μm的厚层膜。

对于各种各样的应用,SpectraRay/4都提供了预定义的配方。

Manual goniometer with 5° stepsComplete set: SENpro spectroscopic ellipsometer with controller and laptopSpectroscopic ellipsometer SENpro for easy handling



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产品参数

产地类别 国产
应用领域 环保,化工,电子
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