善时扫描电子显微镜SS-60系列

SS-60  系列产品作为基础款台式扫描电镜，能满足大部分用户的基本实验需求，配置 SE 二次电子探测器与 BSE 背散射电子探测器，载物平台可配置三轴（X,Y,R）手动平台，也可升级为五轴（X,Y,R,Z,T）自动平台，全系列产品均可配置 EDS 能谱分析仪。

扫描电子显微镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。

自动/手动扫描电镜

扫描电镜SS-60系列是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。产品结构设计简洁，高低压真空设计，可调试电压，为不同样品提供更合适的检测环境。

概况

扫描电子显微镜的英文全称为Scanning Electron Microscope,简称扫描电镜或者SEM。扫描电镜是一种用于放大并观察物体表面结构的电子光学仪器。扫描电镜由镜筒、电子信号的收集和处理系统、电子信号的显示和记录系统、真空系统和电源系统等组成，具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。

软件特性

台式电镜，体形小巧，占用空间小；

强大的软件功能，单窗口操作界面让用户操作方便简单；

软件实现检测图形实时存储；

产品结构设计简洁，易于维护及保养；

自动平台采用中心定位模式，迅速定位待测样品；

高低压真空设计，可调试电压，为不同样品提供更合适的检测环境

产品说明：

(1 )放大倍率是6万倍；

(2 )采用二次电子和背散射电子两种探测器；

(3)加速电压有1KV、5KV、10KV、15KV、20KV、30KV可选，图像分辨率高;

(4 )通过选配EDS可进行元素成份分析;

(5 )选配冷却台可在无前置处理的情况下对水分进行采样分析;

(6 )高/低真空的配置可缩短前处理过程；

(7 )选配CCD摄像头可实时观察载物台内部；

产品说明：

（1）放大倍率6万倍（Magnification Max 60,000 X）；

（2）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；

（3）5kV~30kV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；

（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；

（5）Tilt（0~90）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）。

产品特性：

（1）台式扫描电子显微镜，体型小巧，占用空间小；

（2）强大的软件功能，单窗口操作界面，让用户操作方便简单；

（3）软件实现检测图形实时存储；

（4）扫描电子显微镜产品结构设计简洁，易于维护及保养；

（5）自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品。

善时扫描电子显微镜SS-60系列技术参数：

分辨率

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30~60,000 X

加速电压

5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)

图像检测

二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

观察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统

灯丝类型

预对中钨灯丝

偏压系统

自动偏压方式

电子枪校正

手动方式

透镜构成

聚光镜

2段式磁线圈透镜

物镜

1段式磁线圈透镜

探测器类型

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统

自动或者手动

载物台移动

3轴（X，Y，R）或5轴（X，Y，R，Z，T）

图像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

样品尺寸

高度40mm时直径70mm

图像扫描

快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

图像存储格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示

放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等

真空系统

高真空模式

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空时间：3分钟以内

操控系统

鼠标和键盘

PC：台式电脑（Desk Top）    

软件

图像文件打开，编辑，存储功能长度，面积，角度等测量功能,设置数初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等

体积

设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm

重量

95kg

设备环境

温度：15℃~30℃

湿度：70% or less

电源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz

预对中钨灯丝Pre Centered tungsten filament    5 pcs/box

载物台（Sample Stage）

高度基准模块(Height standardmaster)   1ea