特点

• 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

• 采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。

• 从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

用途

• 半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

• 真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

• 锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

• 医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。真空泵用油SMR为了在寒冷时也能发挥好的起动性能粘度较低。
  为了发挥出泵的性能，请尽量频繁地对油进行更换。

• 结构紧凑，排气量大。

• 气体接触区域不使用油的干式真空泵。

• 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。

• 内置自动复位型热保护器等安全设计。

• 大气压下可运作。

• 全压力范围可连续运作。

• 结构简单，维护方便。

• 真空吸盘，真空镊子。

• 自动设备上的吸附和转移。

• 真空包装印刷机。

• 贴片机。

如果在负载运作期间停止泵，然后立即重新启动，则可能无法重新启动。
在这种情况下，将泵内部恢复到大气压。

2　请不要吸入腐蚀性气体，有机溶剂，液体和可冷凝气体（如水蒸气）。
另外，请确保污垢和灰尘不会进入泵内部。

3　泵的滑动材料会在运行过程中磨损，产生磨损粉末。
此外，所使用的滑动材料对抗水性较弱，因此吸入水分则会加速磨损并缩短其寿命。
不要吸入水分和可冷凝气体（水蒸汽等）。

4　仅供室内使用。
请勿安装在下雨或淹水的地方或室外。

5　将泵固定在设备等上时，请务必安装防振橡胶。
防振橡胶的安装螺钉尺寸为M5 x P0.8。
另外，安装在泵侧的防振橡胶螺钉的长度不应超过10毫米。