特点 

可处理基板尺寸最大9"x 9" (230 x 230mm) 方片或 Ø 12" (Ø 300mm)圆片 

采用真空或微接触夹具针对圆形和方形基板 

不同尺寸的圆片/方形片的夹具可容易更换 

真空安全联锁功能 

触摸屏输入显示 启动、停止及真空操作按钮 

可编程速度和加速度 马达转速最大可达8000转/分钟    

易拆卸双片腔体本体和防溅环 

网络接口 

USB接口 

选项 

➤ 电子流体输送手臂--移动速度和位置可编程 

➤ 液体喷嘴 – 喷雾型,射流型 

➤ 热流体线，最高80°C 

➤ 真空或微接触夹具 – 不同尺寸

➤ 可拆卸工艺腔体及防溅环 

➤ 热板 

➤ 热板接近式烘烤, 手动可调接近距离 ➤ 可编程接近距离热板

➤ 真空泵 

➤ 附加HMDS热板 

性能参数 

触摸屏程序输入 

➤ 程序数: 100 

➤ 程序步数: 50 

➤ 最长单步时间: 999秒

➤ 单步时间分辨率: 0.1秒 

旋转马达 

➤ 旋转速度: 最高 8.000 转/分钟* 

➤ 转速分辨率: 1转/分钟 

➤ 旋转精度: ± 2 转/分钟 

➤ 加速度: 最高 50,000 转/分钟/秒* *和基片重量有关 

热板 

➤温度范围: 最高 300°C

➤温度分辨率: 0.1°C 

➤ 温度均匀性( 100°C 时) : < ± 0.5°C 动力需求 

➤电源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

➤ 压缩空气: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD Ø8mm 

➤ 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD Ø8mm 

➤ N氮气 (选项): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD Ø6mm

设备外形(宽 x 深 x 高): 

➤落地式柜体: 约 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6”x 25.6”x 52”) 

➤带水平调节 

➤不锈钢框架