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FSM 413 红外干涉测量设备
- 型号
- FSM 413
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上海富瞻环保科技有限公司依托于上海交大、同济大学等高校雄厚的技术优势，公司集研发、创新于一体，专注于满足客户的各类特殊要求，一切以客户为中心，经过十余年艰苦卓绝的奋斗，现已经成长为一家科工贸一体的综合仪器设备供应商，正以积极进取、昂扬的步伐迈向新的长征。
我们秉承“实诚、坦诚”的宗旨经营环保产业，专注于水质分析仪、大气环境污染物检测、传感器、实验室仪器设备、过程仪器仪表等。同时拥有多个品牌授权合作资源，数千种进口检测仪器仪表产品及配件；产品类型涉及气体分析仪及传感器、水质分析仪及电极、气象、水文、实验室仪器设备及耗材试剂、核辐射、植物生态、土壤、勘测、计量测量、电工、无损、半导体仪器设备等。
在实验室分析仪器领域，富瞻环保与赛默飞(thermo fisher)，瑞士万通(metrohm)，沃特世(waters)，安捷伦(Agilent)等公司合作，销售代理品牌产品。同时，拥有多年实验室二手分析仪器设备国内服务经验,国外稳定采购渠道，国内翻新检测出厂安装调试，到后期维修维保及相关的技术支持，富瞻环保专业的服务团队努力为客户创造更有性价比的解决方案。
水质产品：
主要合作品牌产品有：
水质仪器合作品牌主要有：
气体检测仪品牌主要有：
实验室分析器品牌主要有：
传感器品牌主要有：
实验室试剂耗材品牌：
1、nalgene：广口瓶、窄口瓶、放水口大桶、PP桶
THERMO FISHER NUVIA 2B Tech Durridge GW PE
半导体测试设备
物料 电子元器件、芯片
电子仪表
详细信息
产品品牌：Frontier Semiconductor
产品型号：FSM 413
红外干涉测量设备适用于可让红外线通过的材料
硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)
平整度
厚度变化 (TTV)
沟槽深度
过孔尺寸、深度、侧壁角度
粗糙度
薄膜厚度
环氧树脂厚度
衬底翘曲度
晶圆凸点高度(bump height)
MEMS 薄膜测量
TSV 深度、侧壁角度...
测量方式: 红外干涉(非接触式)
样本尺寸: 50、75、100、200、300 mm
测量厚度: 30 — 780 μm (单探头)
3 mm (双探头总厚度测量)
扫瞄方式: 半自动及全自动型号,
另2D/3D扫瞄(Mapping)可选
衬底厚度测量: TTV、平均值、小值、大值、公差...
粗糙度: 20 — 1000? (RMS)
重复性: 0.1 μm (1 sigma)单探头*
0.8 μm (1 sigma)双探头*
分辨率: 10 nm
设备尺寸:
413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)
413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H)
重量: 500 lbs
电源 : 110V/220VAC 真空: 100 mm Hg
*样本表面光滑（一般粗糙度小于0.1μm RMS)
** 150μm厚硅片（没图案、双面抛光并没有掺杂）
