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激光微加工系统
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详细信息
Ice-Micromake激光微加工系统
--高精度高分辨率
上海滨赛光电科技有限公司是提供的Ice-Micromake系列一款紧凑的激光微加工单元，主要应用于高精度和高分辨率的微加工应用。该系统将激光器、光学系统、高分辨相机等所有需要的微加工设备集成在一起，同时带有强大智能分析功能的软件。这款微加工系统使用ns/ps级脉冲光源，使得样品的空间分辨率可以达到2~5um级别，该系统适用于多种不同性质材料的精密微加工。
这种紧凑系统的典型应用包括精密切割、选择性移除和3D微加工、微电子电路/显示器制造和校正、光学基片微加工、控制烧蚀、激光微钻孔等领域。
产品应用：
3D微加工；
微电子电路/显示器制造和校正；
激光微钻孔；
激光控制烧蚀；
芯片/显示器微加工；
产品参数：
型号 | Ice-Micromake 532 | Ice-Micromake plus 532 | Ice-Micromake 266 | Ice-Micromake plus 266 |
波长 | 532nm | 532nm | 266nm | 266nm |
放大倍数 | 10X | 10X | 10X | 10X |
工作距离 | 39mm | 39mm | 20mm | 20mm |
分辨率 | 4.5um | 5um | 2.2um | 2.5um |
加工区域 | 0.8mm*0.8mm | 0.8mm*0.8mm | 0.8mm*0.8mm | 0.8mm*0.8mm |
频率 | 1KHZ | 10-100khz | 0.8khz | 10-100khz |
最大峰值功率 | 10KW | 35KW | 0.8KW | 5KW |
加工速度 | Up to 5mm/s | Up to 100mm/s | Up to1mm/s | Up to 40mm/s |
散热 | Air-cooled | Air-cooled | Air-cooled | Air-cooled |
尺寸大小 | 35*16*9cm^3 | 35*24*11cm^3 | 37*16*9 cm^3 | 37*24*11 cm^3 |
