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显微分光膜厚仪(OPTM系列)
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生产厂家上海倍蓝光电科技有限公司成立于2012年,是一家年轻而又富有生命力的公司,公司负责人于立民拥有中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室光学专业硕士学位,同时拥有中国科学院上海技术物理研究所航天遥感室物理电子学专业博士学位。曾就职于Labsphere Inc.(蓝菲光学)公司担任该公司亚太区技术总监,负责亚洲区域内客户解决方案的制定及技术支持。在供职期间,主导并设计了多项难度大、技术复杂的定制项目,如大口径空间相机辐射定标系统、弱光紫外空间相机辐射定标系统、单波长可调谐均匀光源系统、高精度多光谱辐亮度标定系统(辐照度标准灯-漫反射板系统)、显示器ACR(环境对比度)测量系统等多个高难度、高复杂度的定制系统。后带领一支具有丰富的仪器设备开发、使用维护经验的工程师和商务人员成立倍蓝光电科技有限公司。
公司专注于光电领域仪器设备的定制开发、代理销售与系统集成业务包括仪器设备的维修和周边产品的销售,为国内科研及制造业用户提供全面的服务。公司致力于引进国际上先进的产品、先进的技术完善定制服务,向客户提供完善的服务、完善的产品、完善的售后服务。帮助客户解决在科研、生产中遇到的问题。
公司在代理和销售光电设备的同时并提供基于各种光电设备的拓展应用和OEM研发。我们在光电行业有着多年的工作经验和实际操作方案,积累了大量的应用和研发实例,为客户提供一站式的解决方案。
测量目标膜的**反射率,高精度测量膜厚和光学常数!非接触·非破坏·显微
测量时间仅1秒!
显微分光膜厚仪(OPTM系列)使用显微光谱法在微小区域内通过**反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件
产品特点:
头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度**反射率(多层膜厚度,光学常数)
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统(紫外***近红外)
区域传感器的安全机制
易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
测量项目:
**反射率测量
多层膜解析
光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)
应用:
半导体:晶圆样品的自动调整,晶圆的弯曲检测
光学元器件:镜头镜片的放射率,弯曲等检测
产品规格型号:
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
波長范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
测定时间 | 1秒 / 1点 | ||
光斑大小 | 10μm (***小约5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
电源規格 | AC100V±10V 750VA(自动样品台规格) | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分) | ||
重量 | 约 55kg(自动样品台规格之主体部分) |