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主动消振系统Stage-base
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生产厂家上海倍蓝光电科技有限公司成立于2012年,是一家年轻而又富有生命力的公司,公司负责人于立民拥有中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室光学专业硕士学位,同时拥有中国科学院上海技术物理研究所航天遥感室物理电子学专业博士学位。曾就职于Labsphere Inc.(蓝菲光学)公司担任该公司亚太区技术总监,负责亚洲区域内客户解决方案的制定及技术支持。在供职期间,主导并设计了多项难度大、技术复杂的定制项目,如大口径空间相机辐射定标系统、弱光紫外空间相机辐射定标系统、单波长可调谐均匀光源系统、高精度多光谱辐亮度标定系统(辐照度标准灯-漫反射板系统)、显示器ACR(环境对比度)测量系统等多个高难度、高复杂度的定制系统。后带领一支具有丰富的仪器设备开发、使用维护经验的工程师和商务人员成立倍蓝光电科技有限公司。
公司专注于光电领域仪器设备的定制开发、代理销售与系统集成业务包括仪器设备的维修和周边产品的销售,为国内科研及制造业用户提供全面的服务。公司致力于引进国际上先进的产品、先进的技术完善定制服务,向客户提供完善的服务、完善的产品、完善的售后服务。帮助客户解决在科研、生产中遇到的问题。
公司在代理和销售光电设备的同时并提供基于各种光电设备的拓展应用和OEM研发。我们在光电行业有着多年的工作经验和实际操作方案,积累了大量的应用和研发实例,为客户提供一站式的解决方案。
概述
TMC继续在*技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的**半导体工具而设计的主动消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能,它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定,以**限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供***的主动振动和运动消除系统。
Stage-Base 450优势
Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种的**低频消振串行型技术,通过使用音圈电机(VCM),实现了主动移动平台运动消除。
Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术。使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了**的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内**地面隔振,响应于平台力的初始偏转明显更小。
规格
▪ 采用的STACIS®技术
▪ 采用高力、加长行程的压电致动器
▪ 有效载荷的位置可重复性在微米以内
▪ 框架安装设计
▪ 6个主动自由度
▪ 可选的VCM前馈和/或反馈
▪ 始于0.6 Hz的主动隔振
▪ 响应平台运动的快速稳定时间
▪ 无软空气悬架
▪ 通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面(GUI)的高速数字控制器
▪ 简单、坚固且经济高效
性能
应用照片