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Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜
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详细信息
Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜
利用亚纳米分辨率和高材料对比度进行纳米材料表征和分析
Verios 5 XHR SEM扫描电镜的主要特点
SmartAlign 技术
使用 SmartAlign 技术时，用户无需对电子束镜筒进行任何对中，这不仅能最大限度地减少维护，还能提高电镜生产率。
创新的电子光学系统
包括 Thermo Scientific 获得的 UC+（单色器）电子枪、ConstantPower 透镜和静电扫描，可实现准确稳定的成像。
亚纳米级分辨率
Elstar Schottky 电子源单色器（UC+）FESEM 技术和性能，实现从 1 至 30 keV 的亚纳米级分辨率。
一致的测量结果
Verios 扫描电镜非常适合实验室计量应用，能够在高放大倍数下校准经 NIST 认证的标准品。
低剂量操作和最佳对比度选择
结合了先进的高灵敏度、镜筒内 & 透镜下探测器和信号过滤功能 可实现低剂量操作和最佳衬度选择。
轻松访问射束着陆能量
低至 20 eV 也可实现用于真正的表面表征的分辨率。
无人照看的 SEM 运行
借助 AutoScript 4 软件，可选配基于 Python 的应用程序编程界面 (API)。
Verios 5 XHR SEM超高分辨扫描电镜规格
电子束分辨率 |
| |
标准检测器 | ETD、TLD、MD、ICD、射束电流测量、Nav-Cam+、IR 摄像机 | |
可选检测器 | 可选检测器 | EDS、EBSD、RGB 阴极发光、拉曼、WDS 等 | |
载物台偏倚（光束减速、可选） | 标准配置包括高达 -4000 V | |
样品清洁 | 标配配置包括集成式等离子清洗装置 | |
样品操纵 | Verios 5 UC
| Verios 5 HP
|
腔室 | 379 mm 内径、21 个端口 | |
软件选项 |
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大腔室
可从两种高精确稳定的压电陶瓷驱动样品台中进行选择。
