一、TEM Mill 精密离子减薄仪 技术参数：

1. 两支独立可调电磁聚焦离子枪

2. 同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)

3. 超宽加速电压范围：100eV 到 10kV，不同加速电压下，离子束束斑均保持最细束斑状态

4. 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测

5. 采用可调节10英寸触屏控制系统，人机界面友好，操作简洁

6. 自动独立气源控制

7. 减薄角度范围：-15°~+10°连续可调

二、TEM Mill 精密离子减薄仪 功能介绍：

1. 样品载台X-Y可调，可根据需要调整样品减薄位置

2. 具备原位实时观察及记录减薄过程功能

3. 样品可360°连续旋转或摇摆，离子束自动避让样品夹

4. 可通过时间、温度以及透光性自动停止

5. 可选液氮冷台配置，去除热效应对样品的损伤

6.可选真空或惰性气体转移装置，隔绝样品与水氧接触

三、企业简介

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。