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Wafer XRD-200 晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD
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- Wafer XRD-200
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束蕴仪器（上海）有限公司自成立以来，凭借与德国布鲁克（BRUKER）、衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等实验室分析仪器品牌的战略合作，迅速成为业界仪器供应商。
我们拥有一支积极乐观，正直诚信的年轻团队，我们热忱的信仰科学，相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活，为社会的进步起到积极的促进作用。
束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备，专业的应用支持及完善的售后服务，在中国大陆的诸多领域拥有大量用户，如高校、科研院所、航空航天，政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。
公司的宗旨：为客户量身打造合适的综合解决方案、技术支持和现场服务，优质的客户培训，快速及时的售后服务。
束蕴仪器，让世界更清晰！
主营仪器设备：
--高分辨X射线显微CT、多量程X射线纳米CT、X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、电子顺磁共振波谱仪 （ESR/EPR）、台式核磁共振波谱仪 TD-NMR、光学轮廓仪等 -- 德国布鲁克Bruker 授权代理商
--PDF衍射数据库、JADE软件--衍射数据中心（ICDD)授权代理商
--晶圆片寿命检测仪、在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测、晶圆片在线面扫检测仪、台式PID潜在诱导退化测试仪、释光测定仪等--德国Freiberg Instruments授权代理商
--BPCL化学发光仪--微光科技华东区总代理
单位名称：束蕴仪器（上海）有限公司
详细地址：上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室
详细信息
晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD的特点：
◇ 自动化的晶圆处理和分类系统（例如：盒到盒）。
◇ 晶体取向和电阻率测量
◇ 晶片的几何特征（缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度）的光学测定
◇ 未抛光的晶圆和镜面的距离测量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD的Omega-scan方法：
◇ 高的精度
◇ 测量速度： < 5秒/样品
◇ 易于集成到工艺线中
◇ 典型的标准偏差倾斜度（例如：Si 100）： < 0.003 °，小于< 0.001 °。
全自动化的晶圆分拣和处理系统
Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪
主要里程碑：
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟·布拉达切克和他的儿子汉斯·布拉达切克创立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成电路的x射线检测计数装置，名为 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 开发 Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 - 振荡器产量从 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 将 Omega 转移到其他材料，如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金
◆ 2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM )
全球售出 约 150台石英分选系统
◆ 2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师
