起订量:
CIF-SEM 扫描电镜等离子清洗机
中级会员第3年
经销商
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
扫描电镜等离子清洗机是一款专为扫描电子显微镜(SEM)样品准备而设计的高效清洗设备。该机利用等离子体技术,通过活性气体的激发,去除样品表面的有机污染物和微尘,确保样品在显微观察中的清洁和高质量成像。扫描电镜等离子清洗机具有快速、均匀的清洗效果,并能够处理各种材料,包括金属、陶瓷和聚合物等。其自动化控制系统使得操作简单便捷,广泛应用于材料科学、纳米技术和生物医学等领域,为研究人员提供可靠的样品处理解决方案。
CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
扫描电镜等离子清洗机主要用于准备扫描电子显微镜(SEM)样品,去除样品表面的有机污染物、微尘和其他杂质。它广泛应用于材料科学、纳米技术和生物医学等研究领域,以确保样品在显微观察中的清洁和高质量成像。
该设备通过等离子体技术进行清洗。首先,等离子清洗机将特定的气体(如氧气或氩气)引入反应室,并通过高频电源激发气体形成等离子体。等离子体中的活性粒子与样品表面的污染物反应,分解并去除这些杂质。该过程能够快速且均匀地清洗各种材料,确保样品表面达到所需的清洁度,从而提高扫描电子显微镜的成像质量和分析准确性。
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40(CF40) |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源,射频功率5-150W可调, |
远程等离子源,自动匹配器 | |
气体控制 | 标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V,50/60Hz,300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保,终身维护 |
1.远程等离子清洗源
2.清洗快速、高效
3.低轰击损伤