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CIS 系列封闭式离子源分析仪
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深圳市奥德赛创精密仪器有限公司产品主要有安规检测类产品、燃烧阻燃类试验设备、灼热丝试验仪，针焰试验仪，水平垂直试验仪，漏电起痕试验仪，纺织品燃烧试验仪，环境类试验箱、wan能试验机、疲劳试验机、实验室检测设备，试验指销棒，各类检测仪器，并代理了德国WAZAU、德国PTL、德国PTI、日本NMB、日本NoiseKen、美国ELECTRO-LITE、OPHIR等国际zhi名pin牌检测仪器。
深圳市奥德赛创精密仪器有限公司是一家集研发、生产、代理销售进口检测仪器的高科技港资公司。公司历史悠久，其前身是香港奥特仪器设备有限公司，后改称香港奥德赛创科技有限公司。公司总部原位于香港官塘，于2006年整体搬迁至深圳市宝安区，建立深圳总部。
深圳市奥德赛创精密仪器有限公司是检测仪器研发和生产的先导企业。公司技术实力雄厚，拥有以国外从业人员、归港留学生及大陆引进的各类高科技研发人才组成的研发队伍200多名。公司产品远销美国、欧洲、日本及东南亚各国。在quan球设有办事处：美国的三藩市、墨西哥的西哥城、德国柏林、加拿大魁北克、日本的东京、匈牙利布达佩斯等。客户遍及高校、科研院所、企业等，涉及行业包括航空航天、科研、jun工等领域。
奥德赛创公司本着：科学与智慧相融合,品质与服务共存的理念，面向世界，实现供求双赢！公司的发展过程，也是公司管理团队与管理理念逐步摸索与完善的过程，总结公司发展所经历的三个历史阶段，可以充分感受到奥特公司过去每一步成功的坚实和未来稳步发展的信心。
第yi阶段：创立与探索（1990~2000年）：
从创业初期直至集团化多元化产品方向逐步建立的过程中，公司形成了以研究开发为核心竞争力的企业竞争优势。
第二阶段：引进先进技术、香港*先（2000~2006年）：
境外技术和资金的成功引入使公司如虎添翼，公司在保持原有研发实力的基础上，成功引进英国先进技术，并在汉堡成立研发新产品研究中心，在拓展市场销售网络的基础上赢得了各项财务指标的稳步成长，在香港检测仪器及传感器行业中确定*先地位。
第三阶段：国际化发展、创建yi流营销服务体系（2006年至今）：
随着公司技术和产品的成熟，公司抓住机遇、稳健开拓国际化发展和专业化领域的多元化发展之路。藉在世界各地设立了营销网络和服务中心,力争创建shi界yi流的营销和服务体系.
详细信息
CIS 系列封闭式离子源分析仪
凭借优于 1 ppm 的检测限、在 mTorr 压力下直接采样以及用户友好的 Windows 软件包，CIS 系统将满足您*苛刻的应用。在线过程监测和控制、在使用点验证过程气体纯度、高真空残余气体分析和过程设备泄漏检查是这些系统*不可少的一些领域。
紧凑型设计
该探头由一个四极质谱仪和一个安装在 2.75" Conflat ® Tee 内的 CIS 离子发生器组成。控制单元直接安装在探头的馈通法兰上，并包含操作仪器所需的所有电子设备。CIS 接头的侧面端口提供用于将四极杆、灯丝和检测器保持在高真空状态的差动泵系统连接。该系统可以通过其标准 CIS 安装法兰 (2.75" CF) 直接连接到工艺室。该装置是自对准的，具有简单、坚固的设计。您可以清洁和重新组装探头，并在现场更换灯丝和电子倍增器，而无需致电工厂。
镀金离子发生器
整个离子发生器由镀金不锈钢制成。这减少了电离区域中的除气和背景信号，提高了长期稳定性，并允许在暴露于反应性和腐蚀性气体时进行操作。使用钨丝，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蚀性和反应性气体，并延长使用寿命。电离器的封闭（气密）设计可防止常见的干扰物质回流到电离体积中。这会产生没有光谱重叠的峰。
探测器的选择
CIS 系列分析仪标配法拉第杯检测器（10 ppm 检测）和连续打拿极电子倍增器（1 ppm 检测）。该软件允许您在检测器之间轻松切换。
多功能性
CIS 系统也可以用于所谓的“RGA 模式”。在这种模式下，装置具有较低的*小可检测分压，但也具有较低的*大工作压力。例如，RGA 模式用于溅射工艺的**阶段，此时腔室被抽空至低压，并检查真空质量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以将装置切换到 CIS 模式，以便在较高压力下直接采样。
*全可编程性
提供标准 RS-232 接口以及完整的编程参考。可以控制和监控所有探头参数，并且可以获取数据以用于自定义应用程序。
视窗软件
CIS 系统由在 PC 上运行的实时 Windows 软件包提供支持。直观的图形用户界面允许快速轻松地进行测量。该程序是*全交互式的，使用户可以*全控制图形显示。可拆分屏幕进行双模式操作，刻度可设置为线性或对数格式，数据可手动或自动缩放。实时捕获和显示数据，或按给定时间间隔计划采集数据，以进行长期数据记录。功能包括用户可选择的单位（ppm、Torr、mbar、Pa 和 A）、可编程的音频和视频警报以及全*的在线帮助。该软件允许通过简单的质量标度调整、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整实现完整的 CIS 磁头控制。为了进一步分析，数据文件可以以 ASCII 格式保存，以便于传输到电子表格中。图形图像可以保存为 META 文件或复制到剪贴板以导入其他 Windows 程序。该软件还为锁定头部参数提供密码保护，使临时用户无法更改重要设置。
可选的独立监视器 ( PPM100 ) 可用于在没有主机的情况下控制 RGA。
多头操作
当需要多个 CIS 时，该软件支持多头操作。该软件*多可监控 8 个 ECU。
泵送要求
CIS 仪器需要连接到有效抽速至少为 40 L/s 且基础压力低于10 -9 Torr的抽吸系统。连接端口是一个 2.75" Conflat ® 法兰。选项 O100TDP 提供一个涡轮泵，它与隔膜低真空泵一起直接安装到 CIS 泵头上。订购此选项时，整个分析仪都在工厂组装、测试和校准。用户可以提供自己的泵站；但是，用户有责任确保泵系统不会损坏或限制仪器的性能。
经济实惠的性能
SRS CIS 系统以竞争模型的一小部分成本提供**的性能。标准系统包括法拉第杯探测器、电子倍增器探测器和 Windows 软件。选项包括用于交流线路操作的内置电源模块，以及包括涡轮分子泵和隔膜泵的泵送套件。
独联体尺寸图
| 独联体参数 | 范围 | 独联体模式 | RGA模式 |
| 电子发射电流 (mA) | 0到1 | 0.05 | 0.5 |
| 电子能量 (eV) | 25 至 105 | 70 或 35 | 70 |
| 离子能量 (eV) | 4 或 8 | 4 或 8 | 4 或 8 |
| 提取电压 (V) | 0 到 -150 | -50（典型值） | -50（典型值） |
| 灵敏度 (A/Torr) （对于 N 2 @28 amu） | 10 -6 | 10 -5 | |
| 线性范围上限 (Torr) | 2×10 -3 | 10 -4 | |
| MDPP (托) | 10 -8 | 10 -9 |
笔记
1. CIS 测试使用 70 L/s 混合涡轮分子泵进行，由隔膜泵支持，连接到 CIS Cover Tee 的侧端口。2. 报告的 RGA 模式灵敏度是针对低于 10 -5 Torr的 N 2
计算得出的。 3. CIS 模式灵敏度是针对 N 2在 1 至 5 × 10 -4 Torr 下计算的。4. MDPP（*小可检测分压）通过在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情况下测量法拉第杯检测的基线水平来确定
托（CIS 模式）。当电子倍增器打开时，可检测性可提高多达 3 个数量级。
CIS 系列规格 | |
操作 | |
| 质量范围 | |
| CIS100 | 1 到 100 amu |
| CIS200 | 1 到 200 amu |
| CIS300 | 1 至 300 amu |
| 质量过滤器类型 | 四极杆 |
| 探测器类型 | 法拉第杯和电子倍增器 |
| 解析度 | 优于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根据 AVS 标准 2.3）。在整个质量范围内可调至恒定峰宽。 |
| *大限度。工作温度 | 70℃ |
| 烘烤温度 | 300 °C（不带 ECU） |
离子发生器 | |
| 设计 | 封闭离子源，圆柱对称，电子碰撞电离 |
| 材料 | 镀金 SS304 |
| 灯丝 | 钨或 ThO 2 /Ir 带固件保护（现场可更换） |
| 电子能量 | 25 至 105 eV，可编程 |
| 离子能量 | 4 或 8 eV，可编程 |
| 聚焦电压 | 0 至 150 V，可编程 |
| 电子发射电流 | 0 至 1 mA，可编程 |
一般的 | |
| 探头安装法兰 | 2.75" CF |
| ECU尺寸 | 4.1" × 3.1" × 9.1" (WHL)。可轻松与探头分离以进行烘烤。 |
| LED指示灯 | 电源开/关、灯丝开/关、电子倍增器开/关、 |
| 热身时间 | 3 分钟后峰高 ±2 %。30 分钟后质量稳定性 ±0.1 amu。 |
| 电脑接口 | RS-232C，28,800 波特，带上等命令集 |
| 软件 | 基于 Windows 的应用程序 |
| 电力需求 | 24 VDC @ 2.5 安培。公头 DB9 连接器，可选内置电源模块，用于交流线路操作 |
| 重量 | 6 磅。 |
